[发明专利]传送路径校正技术和相关系统、方法和装置

权利要求书

1.一种用于沉积机器的传送系统，所述传送系统包含：

沿第一方向延伸的轨道；

第一部件，其联接到轨道上以在第一方向上移动；

第二部件，其联接第一部件，以沿第一方向传送物体；和

至少一个换能器，其联接在第一部件和第二部件之间，以在与第一方向垂直的线性的第二方向上移动第二部件，从而校正第二部件的位置误差。

2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述第二部件包含真空吸盘。

3.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述换能器是音圈，线性马达或压电换能器。

4.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述至少一个换能器包含在第一位置处联接在所述第一部件和所述第二部件之间的第一换能器，和在第二位置处联接在所述第一部件和第二部件之间的第二换能器，每个换能器设置成在线性的第二方向上移动第二部件，并且还包含：位置检测器，其用于检测基底的位置误差；以及控制器，其可操作地联接位置检测器和换能器，所述控制器被设置为根据位置误差来操作换能器。

5.根据权利要求4所述的传送系统，其中，每个换能器是音圈，而且还包含浮动枢转组件，所述浮动枢转组件在所述第一位置和所述第二位置之间，将所述第一部件联接到所述第二部件。

6.根据权利要求5所述的传送系统，其中，所述控制器基于由所述位置检测器检测到的平移误差和旋转误差，来操作所述第一换能器和第二换能器。

7.根据权利要求6所述的传送系统，其中，所述位置检测器包含光束源和光学检测器，其中，所述光束源和所述光学检测器之一联接所述第二部件。

8.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述第二部件包含真空吸盘，所述真空吸盘选择性地与基底接合，所述至少一个换能器包含第一换能器，所述第一换能器在第一位置处联接在所述第一部件和所述第二部件之间，在第一位置在线性的第二方向上移动所述第二部件，和第二换能器，所述第二换能器在第二位置处联接在第一部件和第二部件之间，在第二位置在线性的第二方向上移动第二部件。

9.根据权利要求8所述的传送系统，还包含浮动枢转组件，所述浮动枢转组件在所述第一位置和所述第二位置之间，将所述第一部件联接到所述第二部件。

10.根据权利要求9所述的传送系统，还包含激光干涉测量系统，其联接所述第二部件，和控制器，其被设置为从所述激光干涉测量系统接收信号，并基于所述信号来操作所述第一换能器和所述第二换能器。

11.根据权利要求10所述的传送系统，其中，所述控制器操作所述第一换能器和第二换能器，从而校正所述基底的平移和旋转误差。

12.一种电子产品制造设备，包含：

沉积源，以在基底上沉积材料；

浮动台，用于当材料沉积在其上时，将基底支撑在流体垫上；和

基底传送系统，包含：

第一部件，根据电子刺激沿着基底传送轨道行进，该基底传送轨道在第一方向上延伸；

第二部件，其选择性地接合基底，以在第一方向上传送基底；和

至少一个基底传送换能器，其联接第一部件和第二部件，所述至少一个基底传送换能器使第二部件在与第一方向垂直的线性的第二方向上位移，

其中，当第二部件沿着第一方向行进时，至少一个基底传送换能器在线性的第二方向上调节第二部件的位置。

13.根据权利要求12所述的电子产品制造设备，其中，所述沉积源包含打印头组件，所述打印头组件包含具有喷嘴的打印头，所述喷嘴用于将所述材料液滴喷射到所述基底上，所述材料包含膜形成材料。