[发明专利]在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜及其制备

权利要求书

1.一种在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在晶向为[001]、[110]和[111]的衬底上依次制备可溶性牺牲层薄膜、SrRuO₃单晶薄膜和柔性材料，然后溶解掉所述可溶性牺牲层薄膜进行柔性转移，得到所述在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜；

所述衬底的晶格常数与可溶性牺牲层薄膜晶格常数相匹配；

所述可溶性牺牲层薄膜为Ca_3-xSr_xAl₂O₆，0≤x＜3。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述衬底在使用前先进行表面预处理，所述表面预处理包括酸腐蚀、氩离子轰击、加热退火中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，制备可溶性牺牲层薄膜、SrRuO₃单晶薄膜的方法包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述柔性材料包括聚酰亚胺胶带、布基胶带、聚对苯二甲酸乙二醇酯胶带、聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯中的至少一种；制备柔性材料的方法为粘贴或涂覆。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用可溶解所述可溶性牺牲层薄膜的溶剂溶解掉所述可溶性牺牲层薄膜，所述溶剂不溶解所述衬底、SrRuO₃单晶薄膜、柔性材料，也不与所述衬底、SrRuO₃单晶薄膜、柔性材料反应；

所述溶剂为去离子水。

6.根据权利要求1～5任一权利要求所述的制备方法制备得到的在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜。