[发明专利]基于PDMS的峰值连续可变导模共振滤光片及制备方法

权利要求书

1.一种基于PDMS基底的峰值连续可变导模共振滤光片，其特征在于，包括上部薄膜波导层（1）、中间变间距光栅层（2）和下部PDMS基底（3），下部PDMS基底（3）的厚度沿光栅周期渐变方向渐变，上部薄膜波导层（1）的折射率大于中间变间距光栅层（2）等效折射率和下部PDMS基底（3）折射率；上部薄膜波导层（1）、中间变间距光栅层（2）和下部PDMS基底（3）沿下部PDMS基底（3）的厚度渐变方向上呈波浪形；

中间变间距光栅层（2）的光栅周期Λ变化范围为400nm-600nm，占空比f=0.5，光栅槽深h=60nm，折射率n1=1.46。

2.一种如权利要求1所述的基于PDMS基底的峰值连续可变导模共振滤光片的制备方法，其特征在于，包括：

步骤1：将PDMS预聚物和固化剂按照10:1比例混合，抽真空出去气泡，将混合液体导入倾斜放置的器皿，放入鼓风干燥箱固化；

步骤2：将固化后的PDMS薄膜裁剪成沿一边厚度渐变的矩形，用夹具固定住薄膜两端，然后纵向拉伸或横向拉伸PDMS薄膜；

步骤3：将处于拉伸状态的PDMS薄膜放置于氧气等离子体刻蚀机中，设置好刻蚀功率后，刻蚀一定时间取出，随后缓慢释放拉伸力，得到表面变间距光栅；

步骤4：在变间距光栅表面镀一层氧化物薄膜。