[发明专利]一种柔性覆铜膜及其制造方法有效
| 申请号： | 202110588519.6 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113421697B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 沈奕;陈玉云;余荣;吕岳敏 | 申请（专利权）人： | 汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器（二厂）有限公司;汕头超声显示器有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00;H05K1/03;H05K3/02;H05K3/06;C23C14/20;C23C14/35;C23C28/02;C25D3/38;C25D5/56 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 陈烨彬;卢梓雄 |
| 地址： | 515000 广东省汕头市龙湖区龙江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 覆铜膜 及其 制造 方法 | ||
1.一种柔性覆铜膜，包括基材层和铜金属层，铜金属层覆合在基材层的一表面上，其特征在于：所述基材层为含氟的聚酰亚胺膜，聚酰亚胺膜与铜金属层之间设有镍合金层，聚酰亚胺膜表层的部分氟原子与镍合金层结合形成氟化镍;镍合金层与聚酰亚胺膜之间的界面设有氟化镍薄层或过渡薄层，过渡薄层由氟化镍与氟化铬构成。
2.根据权利要求1所述的一种柔性覆铜膜，其特征在于：所述镍合金层是Ni:Cr质量比为80：20的镍铬合金层，所述聚酰亚胺膜表层的部分氟原子与所述镍合金层结合形成氟化铬。
3.根据权利要求1或2所述的一种柔性覆铜膜，其特征在于：所述聚酰亚胺膜具有以下的结构单元：
；
其中，R代表二酐残基， 选自：
。
4.一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于包括如下步骤：
（1）、在玻璃基板上设置一层含氟的聚酰亚胺膜；
（2）、在真空环境下采用氧等离子体清洗并活化所述聚酰亚胺膜的表面，使得聚酰亚胺膜的表面出现包含活化氟离子的悬键；
（3）、在所述聚酰亚胺膜的表面沉积镍合金层，处在镍合金层与聚酰亚胺膜之间界面的镍原子与氟离子结合形成氟化镍；
（4）、在所述镍合金层的表面沉积铜金属层，得到以聚酰亚胺膜为基底的柔性覆铜膜；
（5）、将所述柔性覆铜膜从玻璃基板上剥离出来。
5.根据权利要求4所述的一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于：所述步骤（1）中，在玻璃基板上涂布聚酰亚胺前驱液，先经低温预固化，再经多段高温固化，得到含氟的聚酰亚胺膜；所述步骤（2）中，采用低能等离子体对聚酰亚胺膜的表面进行活化。
6.根据权利要求4所述的一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于：所述步骤（2）与所述步骤（3）的间隔不超过15小时。
7.根据权利要求6所述的一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于：所述步骤（2）与所述步骤（3）的间隔不超过1分钟。
8.根据权利要求4所述的一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于：所述步骤（3）中，所述镍合金层为镍铬合金层，处在镍合金层与聚酰亚胺膜之间界面的部分氟原子与所述镍合金层结合形成氟化铬。
9.根据权利要求4所述的一种柔性覆铜膜的制造方法，其特征在于：所述步骤（1）中的聚酰亚胺膜具有以下的结构单元：
；
其中，R代表二酐残基，选自：
。
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