[发明专利]一种大行程压电精密位移平台与控制方法

权利要求书

1.一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：由基座(1)、导轨a(2)、动子a(3)、导轨b(4)、动子b(5)和载物台(6)组成；所述的导轨a(2)和导轨b(4)固定连接在基座(1)上；所述的动子a(3)通过滑块a(3-1)安装在导轨a(2)上；所述的动子b(5)通过滑块b(3-1)安装在导轨b(4)上；所述的载物台(6)固定连接在动子a(3)的过渡板a(3-2)和动子b(5)的过渡板b(3-2)上。

2.根据权利要求1所述的一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：所述的动子a(3)由滑块a(3-1)、过渡板a(3-2)、柔性铰链机构a(3-3)、压电叠堆a(3-4)、楔形块组a(3-5)、L型板a(3-6)、预紧螺钉a(3-7)和安装螺钉a(3-8)组成；所述的压电叠堆a(3-4)安装在柔性铰链机构a(3-3)的凹槽内，并且通过楔形块组a(3-5)进行预紧；所述的柔性铰链机构a(3-3)固定连接在过渡板a(3-2)上；所述的L型板a(3-6)通过安装螺钉a(3-8)安装在柔性铰链机构a(3-3)上；所述的柔性铰链机构a(3-3)和导轨a(2)弹性接触，通过预紧螺钉a(3-7)调节柔性铰链机构a(3-3)和导轨a(2)之间的接触力；所述的过渡板a(3-2)固定连接在滑块a(3-1)上。

3.根据权利要求1所述的一种大行程压电精密位移平台，其特征在于：所述的动子b(5)由滑块b(5-1)、过渡板b(5-2)、柔性铰链机构b(5-3)、压电叠堆b(5-4)、楔形块组b(5-5)、L型板b(5-6)、预紧螺钉b(5-7)和安装螺钉b(5-8)组成；所述的压电叠堆b(5-4)安装在柔性铰链机构b(5-3)的凹槽内，并且通过楔形块组b(5-5)进行预紧；所述的柔性铰链机构b(5-3)固定连接在过渡板b(5-2)上；所述的L型板b(5-6)通过安装螺钉b(5-8)安装在柔性铰链机构b(5-3)上；所述的柔性铰链机构b(5-3)和导轨b(4)弹性接触，通过预紧螺钉b(5-7)调节柔性铰链机构b(5-3)和导轨b(4)之间的接触力；所述的过渡板b(5-2)固定连接在滑块b(5-1)上。

4.一种大行程压电精密位移平台的控制方法，其特征在于：包括以下步骤：

A)同时给压电叠堆a(3-4)和压电叠堆b(5-4)施加正向锯齿波形驱动电压信号，此时动子a(3)将沿着导轨a(2)正向运动，同时动子b(5)将沿着导轨b(4)正向运动，动子a(3)和动子b(5)一起运动并带动载物台沿正向运动；

B)同时给压电叠堆a(3-4)和压电叠堆b(5-4)施加反向锯齿波形驱动电压信号，此时动子a(3)将沿着导轨a(2)反向运动，同时动子b(5)将沿着导轨b(4)反向运动，动子a(3)和动子b(5)一起运动并带动载物台沿反向运动。