[发明专利]一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置

权利要求书

1.一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在重锤(1)下端安装带尖籽晶(2)，然后将所述重锤(1)放入主炉室(3)内部，获取带尖籽晶(2)末端到导流筒(4)下沿平面的距离；

步骤2：使用CCD相机(5)获取所述带尖籽晶(2)尖端的实际像素位置图像与所述带尖籽晶(2)尖端倒影的像素位置图像，然后根据所述实际像素位置与所述带尖籽晶(2)尖端倒影的像素位置计算所述带尖籽晶(2)尖端到熔硅液面(6)的距离；

步骤3：基于所述带尖籽晶(2)末端到导流筒(4)下沿平面的距离及所述带尖籽晶(2)尖端到熔硅液面(6)的距离，计算单晶炉液口距；

还包括测量装置，该测量装置通过一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法进行单晶炉液口距测量，所述测量装置包括：

主炉室(3)，所述主炉室(3)内设置熔硅液体；

导流筒(4)，所述导流筒(4)设置在所述主炉室(3)内，所述导流筒(4)位于所述熔硅液体的熔硅液面(6)上方；

重锤(1)，所述重锤(1)通过籽晶绳(7)悬挂在所述导流筒(4)内部，所述重锤(1)下端设置带尖籽晶(2)，所述带尖籽晶(2)尖端位于所述熔硅液面(6)上方；

CCD相机(5)，所述CCD相机(5)设置在所述主炉室(3)外壁，所述CCD相机(5)位于所述主炉室(3)上平面上方，所述CCD相机(5)与水平面的夹角为预设夹角；

还包括定位装置，所述定位装置包括：

箱体(8)，所述箱体(8)设置在所述主炉室(3)下方，所述箱体(8)上表面对称设置有两个第一通孔(9)，所述箱体(8)左右两侧壁分别对称设置有第二通孔；

若干套筒(10)，若干所述套筒(10)设置在所述箱体(8)上表面，所述套筒(10)下端与所述箱体(8)上表面固定连接，所述套筒(10)位于两个所述第一通孔(9)之间，所述套筒(10)内设置有弹簧(11)，所述弹簧(11)下端与所述箱体(8)上表面固定连接，所述弹簧(11)上端设置滑柱(12)，所述滑柱(12)与所述套筒(10)内壁滑动连接，所述滑柱(12)远离所述弹簧(11)一端延伸至所述套筒(10)外部并设置支撑板(13)，所述支撑板(13)下表面中心位置与所述滑柱(12)远离所述弹簧(11)一端铰接连接，所述支撑板(13)能以所述滑柱(12)为支点进行左右转动，所述支撑板(13)上表面与所述主炉室(3)下表面接触；

两个挡板(14)，两个所述挡板(14)对称设置在所述主炉室(3)左右两侧，所述挡板(14)下端与所述支撑板(13)上表面固定连接；

重块(15)，所述重块(15)设置在所述箱体(8)内部中心位置，所述重块(15)上表面设置第一连杆(16)，所述第一连杆(16)上端与所述箱体(8)上侧内壁铰接连接，所述重块(15)能在所述箱体(8)内左右摆动；

两个第一滑套(17)，两个所述第一滑套(17)对称设置在所述重块(15)左右两侧，所述第一滑套(17)侧壁与所述箱体(8)内侧壁固定连接，所述第一滑套(17)内滑动连接有第一滑板(18)，所述第一滑板(18)一端穿过所述第一通孔(9)延伸至所述箱体(8)外部并设置第一滚轮(19)，所述第一滑板(18)与所述第一通孔(9)内壁滑动连接，所述第一滚轮(19)外壁与所述支撑板(13)下表面接触；

第一齿条(20)，所述第一齿条(20)设置在所述第一滑板(18)朝向所述重块(15)一侧壁，所述第一齿条(20)与所述第一滑套(17)内壁滑动连接；

固定板(21)，所述固定板(21)设置在所述第一滑套(17)下方，所述固定板(21)一端与所述箱体(8)内侧壁固定连接，所述固定板(21)另一端设置有转轴，所述转轴与所述固定板(21)前侧壁转动连接，所述转轴上设置有齿轮柱(22)，所述齿轮柱(22)与所述第一齿条(20)啮合；

两个第二滑套(23)，两个所述第二滑套(23)对称设置在所述箱体(8)左右两侧壁，所述第二滑套(23)的套孔与所述第二通孔同心，所述第二滑套(23)内滑动设置有第二滑板(24)，所述第二滑板(24)一端穿过所述第二通孔延伸至所述重块(15)处并设置第二滚轮(25)，所述第二滚轮(25)外壁与所述重块(15)外壁接触，所述第二滑板(24)与所述第二通孔内壁滑动连接，所述第二滑板(24)上表面设置有第二齿条(26)，所述第二齿条(26)上表面带齿并与所述齿轮柱(22)啮合。