[发明专利]间歇式热处理炉

说明书

本发明提供一种间歇式热处理炉，其抑制炉内气氛的不均匀化。间歇式热处理炉(10)包括：炉体(12)，其具备顶壁和侧壁(14)；炉床(20)，其具备供被处理物载放的上表面；多个加热器(30)，它们配置在炉体内，并且，配置于侧壁与被处理物之间，且沿着侧壁而在周向上空开间隔地配置；以及多个气体吹出口，它们用于向炉体内供给气氛气体。多个气体吹出口在圆柱形状的炉内的径向上位于加热器与被处理物之间，且在圆柱形状的炉内的周向上位于周向上相邻的加热器之间。从多个气体吹出口吹出气体的气体吹出方向为侧壁的方向。

技术领域

本说明书中公开的技术涉及一种用于对被处理物(例如：陶瓷电容器、陶瓷压电元件、陶瓷电阻器等层叠陶瓷元器件等)进行热处理的间歇式热处理炉。

背景技术

为了将被处理物的热处理后的特性稳定化，需要使热处理时的炉内温度和炉内气氛均匀化。专利文献1的间歇式热处理炉中，在周向上空开间隔地配置有多个加热器，在与各加热器相对应的位置配置有气体吹出口。气体吹出口配置于加热器与炉内壁面之间，来自气体吹出口的气氛气体由加热器进行加热，同时向炉内供给。由此，实现了炉内温度的均匀化和炉内气氛的均匀化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－77001号公报

发明内容

专利文献1的间歇式热处理炉中，在周向上空开间隔地配置有多个气体吹出口，从各气体吹出口朝向炉内中心喷出气氛气体。因此，在载放于炉内中心的被处理物会出现：被从气体吹出口吹出的气氛气体吹到的部分、以及没有被从气体吹出口吹出的气氛气体吹到的部分。结果存在如下问题：在配置有被处理物的位置，炉内气氛产生偏差，炉内气氛不均匀化。

本说明书公开了能够抑制炉内气氛不均匀化的技术。

本说明书中公开的间歇式热处理炉包括：炉体，该炉体具备顶壁和侧壁；炉床，该炉床具备供被处理物载放的上表面；多个加热器，该多个加热器配置在炉体内，并且，配置于侧壁与被处理物之间，且沿着侧壁而在周向上空开间隔地配置；以及多个气体吹出口，该多个气体吹出口用于向炉体内供给气氛气体。由炉体和炉床形成的炉内的形状为圆柱形状。多个气体吹出口构成为：(1)在圆柱形状的炉内的径向上位于加热器与被处理物之间；(2)在圆柱形状的炉内的周向上位于周向上相邻的加热器之间。从多个气体吹出口吹出气体的气体吹出方向为侧壁的方向。

上述的间歇式热处理炉中，多个气体吹出口在炉内的径向上位于加热器与被处理物之间，从这些多个气体吹出口朝向侧壁(炉内外侧)吹出气氛气体。因此，从多个气体吹出口吹出的气氛气体在吹到侧壁之后沿着侧壁而流动，自侧壁侧开始趋向炉内中心依次置换炉内气氛。因此，在配置有被处理物的位置，能够抑制炉内气氛产生偏差。

附图说明

图1是实施例所涉及的间歇式热处理炉的横截面图。

图2是实施例所涉及的间歇式热处理炉的纵截面图。

图3是用于说明实施例所涉及的间歇式热处理炉中的、加热器与气体导入管的周向上的位置关系的图，且是将从热处理炉的轴线观察侧壁的状态在周向上展开得到的图。

图4是用于说明从气体导入管吹出气氛气体的方向的图。

图5是将气体导入管和在气体导入管所形成的气体吹出口放大示出的图。

图6是变形例所涉及的间歇式热处理炉的横截面图。

图7是变形例所涉及的间歇式热处理炉的纵截面图。

图8是用于说明变形例所涉及的间歇式热处理炉中的、加热器与气体导入管的周向上的位置关系的图，且是将从热处理炉的轴线观察侧壁的状态在周向上展开得到的图。

图9是将侧壁和贯穿侧壁的气体导入管放大示出的图。