[发明专利]大晶片多点频率测量机

权利要求书

1.大晶片多点频率测量机，其特征在于：包括底座，以及设置于底座上的送料机构、送料手臂、测量机构、分杯机构、分杯底座、显示屏及晶片；

所述送料机构包括第一交叉滚柱型Z轴滑台，所述第一交叉滚柱型Z轴滑台上设置有第一交叉滚柱型X轴滑台，所述第一交叉滚柱型X轴滑台上设置有气动滑台，所述气动滑台上设置有送料吸板，所述送料吸板上设置有料夹，所述料夹下设置有厚度调节装置，所述厚度调节装置上设置有微分计；

所述送料手臂包括第二交叉滚柱型Z轴滑台，所述第二交叉滚柱型Z轴滑台上设置有手臂底座，所述手臂底座前设置有送料吸嘴，所述送料吸嘴下连接有第一步进电机；

所述测量机构包括安装座，所述安装座上设置有下电极，所述安装座前端设置有下接线板，所述安装座上设置有升降台，所述升降台后方连接有偏心轮机构，所述偏心轮机构后方连接有第二步进电机，所述升降台上设置有上电极安装板，所述上电极安装板下设置有上接线板，所述上接线板下设置有三根探针，所述安装座上还设置有废料座，所述废料座上设置有废料杯；

所述分杯机构包括导轨座，所述导轨座上设置有沿导轨座滑动的底板，所述底板上设置有第二交叉滚柱型X轴滑台，所述第二交叉滚柱型X轴滑台上设置有微调板，所述微调板上设置有分杯吸嘴；所述分杯底座上设置有至少一个杯子。

2.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述底座包括机架、设置于机架上的桌面以及设置于机架下的水平调节脚轮，所述机架中设置有气路装置，所述桌面上设置有铝型材框架，所述铝型材框架中设置有合页门，所述机架中设置有柜门。

3.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述显示屏包括显示器支撑管及设置于显示器支撑管上的显示器，所述支撑管上设置有扫频控制盒。

4.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述导轨座上设置有传动箱，所述传动箱上设置有导轨电机。

5.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述料夹上设置有激光传感器装置，所述手臂底座上设置有手臂传感器，所述安装座上设置有测量传感器。

6.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述测量机构采用频率扫描方式为从左到右横向3点分别扫描测量，频率测量范围为6Mhz～40Mhz，频率测量最小精度分辨率为1KHz。

7.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述晶片的长宽范围14～33毫米。

8.根据权利要求1所述的大晶片多点频率测量机，其特征在于：所述下电极上对应探针位置开设有通孔。