[发明专利]一种单晶炉用自动上料车

权利要求书

1.一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，包括：

行走小车(1)；

机械手(2)，所述机械手(2)安装于所述行走小车(1)上；

坩埚吸盘单元(3)，所述坩埚吸盘单元(3)安装于所述机械手(2)前端；

视频采集单元(4)，所述视频采集单元(4)安装于所述行走小车(1)上，所述视频采集单元(4)用于采集行走小车(1)行走方向前端的视频信息；

真空泵(5)，所述真空泵(5)安装于所述行走小车(1)上，所述真空泵(5)通过网纹管(6)与坩埚吸盘单元(3)连接；

还包括：

处理单元(7)，所述处理单元(7)安装于所述行走小车(1)上，所述行走小车(1)、机械手(2)、坩埚吸盘单元(3)、视频采集单元(4)以及真空泵(5)均与处理单元(7)连接，所述处理单元(7)与外部终端连接；

电池单元(8)，所述电池单元(8)安装于所述行走小车(1)上，所述行走小车(1)、机械手(2)、坩埚吸盘单元(3)、视频采集单元(4)、真空泵(5)以及处理单元(7)均与电池单元(8)连接；

所述坩埚吸盘单元(3)包括：

坩埚吸盘(31)，所述坩埚吸盘(31)安装于所述机械手(2)前端，所述坩埚吸盘(31)适配坩埚锅口设置，所述网纹管(6)远离真空泵(5)端连接于所述坩埚吸盘(31)上；

电动球阀(32)，所述电动球阀(32)安装于所述网纹管(6)靠近坩埚吸盘(31)端，所述电动球阀(32)与处理单元(7)连接；

电动放气球阀(33)，所述电动放气球阀(33)安装于所述坩埚吸盘(31)上，所述电动放气球阀(33)与处理单元(7)连接；

压力传感器(34)，所述压力传感器(34)安装于所述坩埚吸盘(31)上，所述压力传感器(34)用于检测坩埚内压力，所述压力传感器(34)与处理单元(7)连接；

所述坩埚吸盘(31)包括：

固定盘(35)，所述机械手(2)安装于所述固定盘(35)顶端；

安装槽(36)，所述安装槽(36)开设于所述固定盘(35)底端；

卡爪安装盘(37)，所述卡爪安装盘(37)转动安装于所述安装槽(36)内；

进气室(38)，所述进气室(38)设于所述固定盘(35)内，所述电动球阀(32)安装于所述固定盘(35)顶端，并连通于所述进气室(38)内；

出气槽(39)，所述出气槽(39)开设于所述卡爪安装盘(37)底端；

齿轮传动室(30)，所述齿轮传动室(30)设于所述卡爪安装盘(37)内；

出气管(41)，所述出气管(41)一端伸入进气室(38)内，所述出气管(41)另一端穿设齿轮传动室(30)，并伸入出气槽(39)内；

环形传动槽(42)，所述环形传动槽(42)以出气管(41)为中心开设于所述安装槽(36)槽底端，所述电动放气球阀(33)、压力传感器(34)均安装于所述固定盘(35)顶端，并连通于所述环形传动槽(42)内；

转动电机(43)，所述转动电机(43)安装于所述齿轮传动室(30)内，所述转动电机(43)输出端伸入环形传动槽(42)内，所述转动电机(43)与处理单元(7)连接；

啮合的一对齿轮(44)，所述齿轮(44)设于所述齿轮传动室(30)内，其中一个所述齿轮(44)安装于出气管(41)上，其中另一个所述齿轮(44)安装于所述转动电机(43)输出端；

环形齿(45)，所述环形齿(45)安装于所述环形传动槽(42)内壁上；

传动齿轮(46)，所述传动齿轮(46)设于所述环形传动槽(42)内，所述传动齿轮(46)安装于所述转动电机(43)输出端，且所述传动齿轮(46)与环形齿(45)啮合；

滑动槽(47)，两个所述滑动槽(47)以出气槽(39)为中心对称开设于所述卡爪安装盘(37)底端；

出气通道(48)，所述出气通道(48)设于所述卡爪安装盘(37)内，所述出气通道(48)一端与其中一个滑动槽(47)连通，所述出气通道(48)另一端与环形传动槽(42)连通；

第一转轴(49)，所述第一转轴(49)横向安装于所述出气槽(39)内；

啮合的一对斜齿轮(40)，所述斜齿轮(40)设于所述出气槽(39)内，其中一个所述斜齿轮(40)安装于第一转轴(49)上，其中另一个所述斜齿轮(40)安装于所述出气管(41)上；

第一螺杆(51)、第二螺杆(52)，所述第一螺杆(51)安装于其中一个所述滑动槽(47)内，所述第一螺杆(51)伸入出气槽(39)内，并与所述第一转轴(49)一端连接，所述第二螺杆(52)安装于其中另一个所述滑动槽(47)内，所述第二螺杆(52)伸入出气槽(39)内，并与所述第一转轴(49)另一端连接，所述第一螺杆(51)的螺旋方向和第二螺杆(52)的螺旋方向相反；

滑块(53)，所述滑块(53)滑动连接于滑动槽(47)内，并分别套设于所述第一螺杆(51)和第二螺杆(52)上；

卡爪(54)，所述卡爪(54)安装于所述滑块(53)底端，所述卡爪(54)用于卡设于坩埚锅口的内壁上。