[发明专利]一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110595003.4 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113322451B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 张磊;何悦;王在发;任勇;孙龙华 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: C23C16/511 分类号: C23C16/511;C23C16/40;H01L31/0216
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 perc 电池 氧化铝 钝化 及其 沉积 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,所述沉积方法包括:

(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理,所述预处理包括:升温后通入笑气及三甲基铝,并恒定压力;

(2)在微波条件下,继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积,得到镀有氧化铝钝化膜的硅片;

步骤(1)所述预处理的过程中未开启微波。

2.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述升温的温度为280~380℃。

3.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述笑气的通入流量小于8000sccm。

4.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述三甲基铝的通入流量小于120g/h。

5.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和小于等于50s。

6.根据权利要求5所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和为15~35s。

7.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述恒定压力中的压力为800~1500mt。

8.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,所述沉积方法包括:

(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理,所述预处理包括:将炉管升温至280~380℃,然后将笑气及三甲基铝同步通入,恒定压力800~1500mt,预通入和恒压的时间总和为15~35s,其中,笑气的预通入流量小于8000sccm,三甲基铝的预通入流量小于120g/h;

(2)在微波条件下,继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积,得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。

9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法制备得到的PERC电池的氧化铝钝化膜。

10.一种PERC电池,其特征在于,所述PERC电池包括如权利要求9所述的PERC电池的氧化铝钝化膜。

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