[发明专利]一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用有效
申请号: | 202110595003.4 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113322451B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 张磊;何悦;王在发;任勇;孙龙华 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/40;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 perc 电池 氧化铝 钝化 及其 沉积 方法 应用 | ||
1.一种PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,所述沉积方法包括:
(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理,所述预处理包括:升温后通入笑气及三甲基铝,并恒定压力;
(2)在微波条件下,继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积,得到镀有氧化铝钝化膜的硅片;
步骤(1)所述预处理的过程中未开启微波。
2.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述升温的温度为280~380℃。
3.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述笑气的通入流量小于8000sccm。
4.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述三甲基铝的通入流量小于120g/h。
5.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和小于等于50s。
6.根据权利要求5所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和为15~35s。
7.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,步骤(1)所述恒定压力中的压力为800~1500mt。
8.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法,其特征在于,所述沉积方法包括:
(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理,所述预处理包括:将炉管升温至280~380℃,然后将笑气及三甲基铝同步通入,恒定压力800~1500mt,预通入和恒压的时间总和为15~35s,其中,笑气的预通入流量小于8000sccm,三甲基铝的预通入流量小于120g/h;
(2)在微波条件下,继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积,得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。
9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法制备得到的PERC电池的氧化铝钝化膜。
10.一种PERC电池,其特征在于,所述PERC电池包括如权利要求9所述的PERC电池的氧化铝钝化膜。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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