[发明专利]用于光刻胶喷嘴的封堵接头

说明书

本发明公开了一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一沉孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述安装座设置于封堵座上，所述第一沉孔的底部开设有与堵头密封配合的通孔，所述堵头安装于通孔内，所述安装座上开设有用于安装弹性件并与通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述弹性件设置于堵头与盖板之间；其中，在对喷嘴封堵时，所述第一沉孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。通过封堵机构对喷嘴口部进行封堵，不仅避免喷嘴内的光刻胶外漏而造成污染、光刻胶的浪费，还具有隔绝空气、泄压的作用。

技术领域

本发明属于半导体生产设备领域，具体涉及一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头。

背景技术

光刻胶主要用于半导体器件的制造，而光刻胶在与空气接触到一定时间后会发生反应，产生光刻胶结晶现象。在光刻胶喷涂完成后，为防止喷嘴口部的光刻胶与空气接触而产生结晶封堵喷嘴口部，影响后续喷涂，目前，多采用将喷嘴口部的光刻胶回吸入喷嘴内，从而避免喷嘴口部被光刻胶结晶封堵，但该方法仍然会使得光刻胶与空气接触，使得部分光刻胶与空气发生反应产生光刻胶结晶。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，能对喷嘴口部封堵。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；

所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一通孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述封堵座上开设有用于安装安装座的第一沉孔，所述安装座安装于第一沉孔内，所述安装座上开设有与堵头密封配合并连通第一通孔的第二通孔，所述堵头安装于第二通孔内，所述安装座上开设有用于安装第一弹性件并与第二通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述第一弹性件设置于堵头与盖板之间；

其中，在对喷嘴封堵时，所述第一通孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口部密封。

进一步，所述封堵机构还包括导向组件，所述导向组件包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件固定设置于堵头上，所述第二导向件固定设置于盖板上并外套于第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向在第二导向件内往复移动。

进一步，所述封堵座内设置有用于稀释溶剂流通的流道，所述流道包括第一流道、第二流道和第三流道，所述第二流道设置于第一通孔内，所述第一流道设置于第一沉孔的口部一端，所述第三流道设置于第二沉孔的底部一端，使稀释溶剂从第一流道流入第二流道内对喷嘴口部的光刻胶稀释清理，再通过第三流道流出。

进一步，所述封堵座上设置有管道，所述第一流道设置管道内，所述管道上设置有用于开闭第一流道的开关阀，所述第三流道内设置有单向阀。

进一步，所述第二通孔为锥形孔，所述堵头的侧面与锥形孔相配合的锥形面；

所述封堵机构还包括将堵头固定于通孔内的锁紧组件。

进一步，所述锁紧组件包括抵压件、第二弹性件、第一限位件和第二限位件，所述盖板上设置有用于安装抵压件的安装孔，所述抵压件安装于安装孔内，所述弹性件设置于抵压件与第一导向件之间，所述第一限位件、第二限位件沿安装孔轴向依次设置于安装孔内，所述低压件上设置有限位部；

其中，所述限位部与第一限位件配合时，所述抵压件低压第一导向件，所述第一导向件固定，当所述限位部与第二限位件配合时，所述抵压件脱离第一导向件，所述第一导向件可沿其轴向移动。

进一步，所述第一限位件为沿安装孔周向均布的多个第一凸台，各所述第一凸台之间设置有用于限位部通过的间隙，所述限位部为沿安装孔周向均布的限位台，所述第二限位件为环形凸台；