[发明专利]介质导管穿墙密封结构和真空室

权利要求书

1.一种介质导管穿墙密封结构，其特征在于，包括介质导管(1)、密封静法兰(2)、密封动法兰(3)、紧固件(4)和金属材料制成的密封阻热筒(5)；

所述密封静法兰(2)、所述密封动法兰(3)和所述密封阻热筒(5)依次套装于所述介质导管(1)的外部；

所述密封静法兰(2)为凸面法兰，所述密封动法兰(3)为凹面法兰；

所述密封阻热筒(5)的一端密封连接于所述介质导管(1)的外管壁，所述密封阻热筒(5)的另一端沿径向向外延伸形成延伸部(51)，所述紧固件(4)将所述延伸部(51)紧固于所述密封静法兰(2)的密封凸面(21)和所述密封动法兰(3)的密封凹面(31)之间。

2.根据权利要求1所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封静法兰(2)的密封凸面(21)上设有凸起于所述密封凸面(21)的密封凸起部(211)。

3.根据权利要求2所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封凸起部(211)包括多条绕所述密封凸面(21)圆周方向延伸的环状凸缘，相邻两条所述环状凸缘相互间隔。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封阻热筒(5)的远离所述密封静法兰(2)的一端钎焊密封连接于所述介质导管(1)的外管壁。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述紧固件(4)包括螺钉。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封阻热筒(5)的远离所述密封静法兰(2)的一端设有缩径部(52)，所述缩径部(52)自靠近所述密封静法兰(2)朝向远离所述密封静法兰(2)延伸的方向逐渐减小。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封阻热筒(5)由无氧铜制成。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的介质导管穿墙密封结构，其特征在于，所述密封静法兰(2)、所述密封动法兰(3)和所述紧固件(4)均由金属材料制成。

9.一种真空室，其特征在于，在所述真空室的墙壁(6)上设有权利要求1-8中任一项所述的介质导管穿墙密封结构；其中：

所述介质导管(1)穿过所述真空室的墙壁(6)，所述密封静法兰(2)、所述密封动法兰(3)、所述紧固件(4)和所述密封阻热筒(5)均位于所述真空室的外部，且所述密封静法兰(2)固定连接于所述真空室的墙壁(6)的外表面。

10.根据权利要求9所述的真空室，其特征在于，所述密封静法兰(2)焊接于所述真空室的墙壁(6)的外表面。