[发明专利]基于透射光栅的分光器有效
申请号: | 202110600698.0 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN113485020B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 郝磊;罗群;杨兴朋 | 申请(专利权)人: | 上海悠睿光学有限公司 |
主分类号: | G02B27/10 | 分类号: | G02B27/10;G02B27/30 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 郝文博 |
地址: | 201102 上海市闵行区梅陇镇闵虹*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 透射 光栅 分光 | ||
1.一种基于透射光栅的分光器,包括:
准直模块,配置为将入射的复合光准直后出射;和
分光模块,包括透射光栅和第一反射单元,所述第一反射单元设置于所述透射光栅的光路上游,配置为接收所述准直模块出射的复合光并反射至所述透射光栅,所述透射光栅将所述复合光展开成光谱;
其中所述透射光栅通过填胶或压印工艺形成在透明基板的一侧上,所述第一反射单元为镀在所述透明基板的另一侧上的高反射膜层。
2.如权利要求1所述的分光器,其中所述透射光栅为透射式矩形光栅,光栅调制深度为0.5um~3.0um,光栅周期为0.5um~1.5um,占空比为0.4~0.85,入射角为-25°~-5°。
3.如权利要求1所述的分光器,其中所述透射光栅为透射式矩形光栅,光栅调制深度为1um~2um,光栅周期为0.6um~1um,占空比为0.5~0.8,入射角为-20°~-10°。
4. 如权利要求1-3中任一项所述的分光器,其中所述准直模块包括:
透镜单元,配置为准直和偏转入射的复合光;和
第二反射单元,配置为将准直和偏转后的复合光反射至所述分光模块。
5.如权利要求4所述的分光器,其中所述透镜单元为透镜或微透镜阵列,所述第二反射单元为平面反射镜。
6.如权利要求4所述的分光器,其中所述透镜单元通过填胶或压印工艺形成在透明基板上,所述透镜单元与所述透射光栅形成在相同的透明基板上。
7.如权利要求1-3中任一项所述的分光器,其中所述准直模块包括第二反射单元,配置为反射并准直入射的复合光。
8.如权利要求7所述的分光器,其中所述第二反射单元为离轴抛物面反射镜。
9.如权利要求1-3中任一项所述的分光器,还包括图像处理模块,配置为接收所述分光模块耦出的光谱。
10.如权利要求9所述的分光器,所述图像处理模块包括线阵或面阵的感光元件。
11.如权利要求9所述的分光器,还包括遮光结构,所述图像处理模块和所述分光模块设置于所述遮光结构的一侧,所述准直模块设置于所述遮光结构的另一侧,所述遮光结构配置为耦出所述准直模块出射的复合光并阻隔杂散光。
12.如权利要求11所述的分光器,还包括一体封装的壳体,所述壳体设有入光结构,配置为将入射的复合光耦入所述准直模块。
13.如权利要求12所述的分光器,所述入光结构为通孔或狭缝,并且内壁为吸光材料。
14.如权利要求12所述的分光器,所述壳体的内壁为光吸收涂料。
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