[发明专利]一种微米级矩形波导的制备方法及系统

权利要求书

1.一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：包括以下步骤：

保持待加工品与水平方向呈倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第一划槽；

将待加工品旋转，使其与水平方向呈倾斜放置，且放置方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第二划槽，实现两条划槽中间的预留位置形成矩形波导；

所述金刚石刀片竖直方向切割的深度小于待加工品薄膜层的厚度。

2.如权利要求1所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：所述第一划槽和第二划槽之间具有一定距离。

3.如权利要求1所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：确定金刚石刀片刀刃第一侧边与竖直方向的第一夹角，使待加工品与水平方向呈第一夹角倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向相同。

4.如权利要求3所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：确定金刚石刀片刀刃第二侧边与竖直方向的第二夹角，使待加工品与水平方向呈第二夹角倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向相同。

5.如权利要求4所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：所述第一夹角与第二夹角相同。

6.如权利要求4所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：所述第一夹角与第二夹角不相同。

7.如权利要求1所述的一种微米级矩形波导的制备方法,其特征是：所述金刚石刀片刀刃侧边长度与待加工的矩形波导的深度匹配。

8.一种采用如权利要求1-7任一所述的方法的微米级矩形波导的制备系统，其特征是：包括角度位移台和可移动机构，所述可移动机构上设置有金刚石刀片，能够带动所述金刚石刀片三维方向运动；

所述角度位移台，设置有承载面，用于承载所述待加工品，且能够带动其承载面转动。

9.如权利要求8所述的一种微米级矩形波导的制备系统，其特征是：所述可移动机构和角度位移台的运动参数可控。