[发明专利]一种转印胶收缩率的测试方法在审
申请号: | 202110602748.9 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN113376203A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 刘艺;赵东峰;董立超;朱春霖;李晓萱;刘宝山;金成滨;艾立夫;吾晓;饶轶 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | G01N25/16 | 分类号: | G01N25/16 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 柳岩 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转印胶 收缩 测试 方法 | ||
本申请公开了一种转印胶收缩率的测试方法,包括如下步骤:S1:将转印胶均匀涂抹在基板上以形成胶层;S2:测量所述胶层厚度D;S3:光照固化所述胶层,测量固化后的所述胶层厚度d;S4:计算所述胶层的收缩率S=(D‑d)/D。在本申请实施例中,通过在基板上涂抹转印胶形成胶层,并根据胶层固化前后的厚度差的比值准确得出转印胶的收缩率,只需较少的转印胶便可以得出精度较高的收缩率数值,实现了提高转印胶收缩率检测的精度同时降低了成本。
技术领域
本申请属于纳米压印技术领域,具体地,本申请涉及一种转印胶收缩率的测试方法。
背景技术
转印胶是一种光固化型单组分成型点胶,主要通过模具成型于PC,PET及TPU等其它聚酯薄膜表面,也可单独点在薄膜表面,主要应用于光刻和纳米压印等领域。
不同品牌的转印胶的收缩率不同,厂家在使用新胶材或是更改产品工艺时,需要对转印胶进行收缩率的检测,现有技术中测量转印胶的收缩率通常是根据转印胶固化前后排水体积计算收缩率,所得出的收缩率数值不够准确,很难精确至纳米级,且需要浪费大量的转印胶,而转印胶的价格较为昂贵,增加了大量的成本。
因此,有必要对一种转印胶收缩率的测试方法进行改进,解决现有技术中的转印胶收缩率检测无法精确至纳米级,且成本较高的问题。
发明内容
本申请的一个目的是提供一种转印胶收缩率的测试方法,以解决转印胶收缩率检测无法精确至纳米级,且成本较高的问题。
根据本申请的一个方面,提供了一种转印胶收缩率的测试方法,包括如下步骤:
S1:将转印胶均匀涂抹在基板上以形成胶层;
S2:测量所述胶层厚度D;
S3:光照固化所述胶层,测量固化后的所述胶层厚度d;
S4:计算所述胶层的收缩率S=(D-d)/D。
可选地,步骤S1中,所述胶层的厚度小于1000nm。
可选地,步骤S2和步骤S3中,测量所述胶层的厚度时至少测量三次,分别测量出D1、D2……Dn以及d1、d2……dn,并对D1、D2……Dn以及d1、d2……dn依次计算得出所述胶层厚度的平均值D和d。
可选地,步骤S2和步骤S3中,测量所述胶层的厚度时,至少在三个不同位置分别进行测量,并在每个位置至少测量三次。
可选地,步骤S2和步骤S3中,在靠近所述胶层的边缘处四个不同的位置测量所述胶层的厚度,并在所述胶层的中心位置处两个不同的位置测量所述胶层的厚度,每个位置处均至少测量三次。
可选地,步骤S1中,所述转印胶通过匀胶机涂抹与所述基板上。
可选地,步骤S2和步骤S3中,通过椭偏仪、膜厚仪或台阶仪中任一测量装置测量所述胶层的厚度。
可选地,步骤S1中,所述转印胶用量小于1ml。
可选地,所述基板的顶面为圆形,所述转印胶涂抹于所述基板的顶面上。
可选地,步骤S2中,利用烘箱烘干所述胶层,烘干温度为100℃-120℃,烘干时间为5min-10min。
在本申请实施例中,通过在基板上涂抹转印胶形成胶层,并根据胶层固化前后的厚度差的比值准确得出转印胶的收缩率,只需较少的转印胶便可以得出精度较高的收缩率数值,实现了提高转印胶收缩率检测的精度同时降低了成本。
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