[发明专利]一种含氮小分子的应用及电镀液有效
| 申请号： | 202110603368.7 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113430594B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 罗继业;张昱;杨冠南;李潮;李真 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;罗尹清 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 含氮小 分子 应用 电镀 | ||
1.一种含氮小分子的应用，其特征在于，将所述含氮小分子用作电镀铜整平剂，所述含氮小分子为5-甲基吡嗪-2-甲醛，化学结构式为。
2.一种电镀液，其特征在于，所述电镀液为酸性硫酸盐镀液，所述电镀液用于大孔径比通孔电镀铜，所述大孔径比通孔为孔径比为1：3以上的通孔，所述电镀液中包含整平剂，所述整平剂为含氮小分子，所述含氮小分子为5-甲基吡嗪-2-甲醛，化学结构式为。
3.根据权利要求2所述的电镀液，其特征在于，所述整平剂在电镀液中的浓度为0.5-100 ppm。
4.根据权利要求2所述的电镀液，其特征在于，所述电镀液中还包括加速剂和抑制剂。
5.根据权利要求4所述的电镀液，其特征在于，所述加速剂为1-丁基磺酸-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、2-二甲氨基-1，3-双硫代磺酸钠基丙烷、2-二甲氨基-1,3-双(硫代硫酸钠)丙烷、3-(甲脒基硫代)-1-丙磺酸、甲基硫代磺酰基(2-磺酰乙基)钠、SPS、UPS、DPS中的一种。
6.根据权利要求4所述的电镀液，其特征在于，所述抑制剂为PEG、PPG或者EPE中的一种或两种混合使用。
7.根据权利要求4所述的电镀液，其特征在于，所述抑制剂的浓度范围为100-1000ppm，所述加速剂的浓度范围为0.5-50 ppm。
8.根据权利要求4所述的电镀液，其特征在于，所述加速剂为SPS，所述抑制剂采用EPE6000。
9.根据权利要求2所述的电镀液，其特征在于，所述电镀液中还包括以下成分：
五水硫酸铜 90-110 g/L，硫酸190-210 g/L，氯离子浓度 50-70 mg/L。
10.根据权利要求2所述的电镀液，其特征在于，所述电镀液中包括以下成分：
5-甲基吡嗪-2-甲醛0.5-30 ppm，SPS 0.5-20 ppm，EPE6000 200-500 ppm，五水硫酸铜100 g/L，硫酸200 g/ L，氯离子浓度 60 ppm。
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