[发明专利]一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法

权利要求书

1.一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、将第一时钟输入锁相环，得到具有稳定相位差的第二时钟；

S2、对第二时钟进行相位调节，并根据第二时钟的最终相位调节同步脉冲控制信号的输出时间；

S3、第二时钟分别向光源、图形发生器发送同步脉冲控制信号；

S4、确定图形发生器中的主同步机和副同步机，主同步机向副同步机发送同步数据包，副同步机与主同步机同步进行图形变换。

2.根据权利要求1所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：S2中对第二时钟进行相位调节，包括：

根据第二时钟的当前相位值p₁与调节相位值△p得到调节后相位值p₂，并将调节后相位值p₂作为第二时钟的最终相位。

3.根据权利要求2所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：所述调节后相位值p₂按照下式计算：

调节后相位值p₂＝当前相位值p₁+调节相位值△p，

其中，调节相位值△p包含正负符号。

4.根据权利要求2所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：S2中根据第二时钟的最终相位调节同步脉冲控制信号的输出时间，包括：

将第二时钟的最终相位与预设相位范围进行比较，当第二时钟的最终相位在预设相位范围内时，则不调节同步脉冲控制信号的输出时间；否则，对同步脉冲控制信号的输出时间进行相应调节。

5.根据权利要求4所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：所述对同步脉冲控制信号的输出时间进行相应调节，包括：

当第二时钟的最终相位大于预设相位范围中最大值时，则相应延长同步脉冲控制信号的输出时间；

当第二时钟的最终相位小于预设相位范围中最小值时，则相应缩短同步脉冲控制信号的输出时间。

6.根据权利要求4所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：S3中第二时钟分别向光源、图形发生器发送同步脉冲控制信号，包括：

将同步脉冲控制信号的输出时间与计时模块中新计时周期的起始时间进行同步，两个第二时钟分别向光源、图形发生器发送同步脉冲控制信号。

7.根据权利要求6所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：S4中确定图形发生器中的主同步机和副同步机，包括：

将接收到同步脉冲控制信号的图形发生器作为主同步机，将除主同步机之外的图形发生器作为副同步机。

8.根据权利要求7所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：所述副同步机在n个计时模块的计时周期后仍未接收到同步数据包时，则判断原主同步机发生故障，并选定新主同步机；

其中，n为根据用户需要选择的正整数。

9.根据权利要求8所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：所述判断原主同步机发生故障，并选定新主同步机，包括：

将距离原主同步机IP地址最近的副同步机选定为新主同步机，同时第二时钟向该新主同步机发送同步脉冲控制信号。

10.根据权利要求6-9中任意一项所述的基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，其特征在于：所述同步数据包包括运行时间、计时模块的计时周期、当前图形序号和下个待变换图形序号。