[发明专利]一种暗场散射显微成像和光谱测试系统

权利要求书

1.一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于，包括至少一个光源（1）、一个光纤探头（2）、第一曲面反射镜（4）、第二曲面反射镜（9）、第三曲面反射镜（11）、第四曲面反射镜（13）、至少一个光阑（5），2个平面反射镜（3、6）、半透半反镜（10），三维调节台（8），光谱仪（12）、CCD（14）、待测样品（7）；

散射光路沿入射光经过顺序依次为第一平面镜、第一曲面反射镜、光阑、第二曲面反射镜、待测样品、第二平面镜、第三曲面镜、第三曲面反射镜，最后汇聚于光谱仪探头；在散射光路中，入射的非平行光经过第一曲面反射镜之后转化为平行光，平行光经过光阑后，经过第二曲面反射镜后聚焦待测样品发生散射，散射光再经过第二曲面反射镜反射后仍为平行光，与入射平行光平行的方向出射，经过半透半反镜分为两路光线，一路经第三曲面反射镜汇聚于光谱仪探头，一路经过第四曲面镜汇聚于CCD探头，同时进行显微成像和光谱；

所述第一曲面反射镜（4）、第二曲面反射镜（9）均为凹面反射镜，放置于同一光轴上，反射面彼此相对，入射光、散射光共用一段光路，起到缩小体积的作用。

2.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述光纤探头（2）通过光纤与光源（1）相连，且光纤探头（2）经过平面反射镜（3）作镜像对称后，光纤探头（2）的镜像位于第一曲面反射镜（4）的焦点位置，以保证入射光经过第一曲面反射镜（4）反射后为平行光出射。

3.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述光源（1）为可见光、红外、紫外、太赫兹波段的光源。

4.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述平面反射镜（6）、平面反射镜（3）在光阑（5）方向上的投影，其尺寸与光阑尺寸相同或小于光阑尺寸。

5.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述三维调节台（8）的悬臂上设置了稳定作用的支架。

6.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述待测样品（7）由三维调节台（8）调节其位置，使得待测样品位于第二曲面反射镜（9）的焦点处，以保证平行入射光经待测样品（7）散射后、由第二曲面反射镜（9）反射后为平行光出射。

7.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述半透半反镜（10）将出射光分为两路，同时进行成像和光谱测试。

8.如权利要求1所述的一种暗场散射显微成像和光谱测试系统，其特征在于：所述第三曲面反射镜（11）替换为光纤探头，并连接便携式光谱仪，以降低成本。