[发明专利]一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202110604598.5 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113299436A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陈桂林;李虎;毛瑜;曾维刚;胡肖洋;钱朝炜;胡毅华 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mxene ito 复合 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：将MXene分散于溶剂中获得MXene溶液，然后通过溶液沉积法将MXene溶液涂敷于洗干净的衬底；
步骤二：在沉积有MXene薄层的衬底上，通过磁控溅射法沉积ITO透明导电层，最终形成MXene/ITO复合透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的MXene溶液是将0.01~0.1g的MXene分散于10-100ml溶剂中，随后进行超声分散得到MXene溶液。
3.根据权利要求1所述的一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的MXene为Ti3C2Tx、Nb2CTx、V2CTx中一种，Tx为F、O、OH基团中的一种或多种，其功函数可通过选择不同的F、O、OH基团进行可控调节。
4.根据权利要求1所述的一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤一所述的溶剂为乙醇、甲醇、二甲基亚砜、水中的一种，或者其中任意几种的组合。
5.根据权利要求1所述的一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤一所述的沉积法为喷涂法、旋涂法或滴注法，衬底为钠钙玻璃或石英玻璃，沉积温度为60～150℃。
6.根据权利要求1所述的一种MXene/ITO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤二所述的磁控溅射法的溅射功率为50-250W，溅射时间为1～30 min。
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