[发明专利]一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具

权利要求书

1.一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：包括用来夹持晶片的治具(1)；治具(1)包含治具上板(3)和治具下板(2)，所述治具上板(3)与所述治具下板(2)可拆卸连接；所述治具下板(2)开设有第一通孔(21)，所述治具上板(3)开设有与所述第一通孔(21)相对应的第二通孔(31)；治具底板(5)，所述治具底板(5)分别与所述治具上板(3)和所述治具下板(2)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述第一通孔(21)外侧环设有放置晶片的第一承载部(22)和第一安装部(23)，所述第一承载部(22)与所述第一安装部(23)构成阶梯状；所述治具上板(3)设有与所述第一承载部(22)相对应的第二承载部(32)以及与所述第一安装部(23)相配合的第二安装部(33)，第二承载部(32)与所述第一承载部(22)相配合形成限制晶片移动的夹持区(4)；所述第一安装部(23)与所述第二安装部(33)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述第一安装部(23)上设有至少两个第一螺纹通孔(231)；所述第二安装部(33)上设有与所述第一螺纹通孔(231)的位置及数量均相对应的第二螺纹通孔(331)；所述治具底板(5)上设有与所述第一螺纹通孔(231)和所述第二螺纹通孔(331)位置及数量均相对应的第三螺纹孔(51)。

4.根据权利要求3所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述第一螺纹通孔(231)、所述第二螺纹通孔(331)和所述第三螺纹通孔(51)的数量均为6个且均匀周向分布。

5.根据权利要求2-4任一项所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述第一安装部(23)上且与所述的第一承载部(22)接壤处设有凹槽。

6.根据权利要求5所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述凹槽为条形凹槽(232)。

7.根据权利要求6所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：相邻的所述第一螺纹通孔(231)之间均设有一个所述条形凹槽(232)。

8.根据权利要求7所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述治具上板(3)设有与所述凹槽相配合的凸块(34)。

9.根据权利要求5所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述第一安装部(23)上开设有连通所述凹槽的排水槽(233)。

10.根据权利要求8所述的一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，其特征在于：所述治具底板(5)的中部开设有第三通孔(52)。