[发明专利]一种高温用酸化缓蚀剂在审
申请号: | 202110606763.0 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN113337824A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 高玉英 | 申请(专利权)人: | 成都英士瑞科技有限公司 |
主分类号: | C23F11/04 | 分类号: | C23F11/04;C23F11/08 |
代理公司: | 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 | 代理人: | 余哲玮 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高温 酸化 缓蚀剂 | ||
1.一种高温用酸化缓蚀剂,其特征在于:包括按质量百分比计的以下组分:A物质9%-12%、B物质28%-33%、油酸三乙醇胺3%-8%、二甲基亚砜4%-12%、甲醇8%-15%和十八烷基酚聚氧乙烯(10)醚1%-7%,其余为去离子水;
所述A物质的制备:以DMF和无水乙醇为溶剂,按摩尔比1.1:1加入2-甲基喹啉和溴化苄,在90℃回流反应8h,得到棕黑色液体物质A,物质A的化学式为C17H16NBr,反应如下:
所述B物质的制备:以异丙醇为溶剂,按摩尔比1.1:1:1加入咔唑、甲醛和苯乙酮,滴加浓盐酸至pH为2-3,在95℃回流反应15h,得到棕黑色液体物质B,物质B的化学式为C21H17NO,反应如下:
2.根据权利要求1所述的一种高温用酸化缓蚀剂,其特征在于:所述高温用酸化缓蚀剂包括按质量百分比计的以下组分:A物质10%、B物质30%、油酸三乙醇胺5%、二甲基亚砜8%、甲醇10%、十八烷基酚聚氧乙烯(10)醚5%和去离子水32%。
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