[发明专利]一种光学元件表面粗糙度加工装置

权利要求书

1.一种光学元件表面粗糙度加工装置，其特征在于，包括配置有抛光液的存储槽、承载有待加工光学元件的承载组件、用于对所述待加工光学元件表面粗糙度加工的抛光组件、以及施压组件，所述抛光组件包括抛光轮和用于驱动所述抛光轮做回转运动的第一驱动机构，所述抛光轮的硬度及弹性模量远低于所述待加工光学元件，所述施压组件用于给所述抛光轮施加靠向待加工光学元件的载荷，所述抛光轮和所述待加工光学元件均置于所述抛光液中，在所述施压组件的作用下，所述抛光轮与所述待加工光学元件接触的部位产生形变，所述抛光轮形变处与所述待加工光学元件之间形成液膜；

所述第一驱动机构包括电机座、安装在所述电机座上的电机和转接件，所述电机的转轴通过所述转接件与所述抛光轮连接以带动所述抛光轮进行回转运动，所述施压组件与所述电机座连接；

所述施压组件包括配重块、定滑轮和配重绳，所述配重绳的一端与所述电机座连接，配重绳的另一端与所述配重块连接，两者之间通过所述定滑轮传递运动；

所述承载组件包括承载件和设置在承载件上用于夹紧所述待加工光学元件的夹紧块，所述夹紧块可相对所述承载件移动；

所述承载件配置有运动机构，所述运动机构带动待加工光学元件进行位移运动或者转动；

所述夹紧块设置有三个，三个所述夹紧块呈三角形分布。

2.如权利要求1所述的光学元件表面粗糙度加工装置，其特征在于，所述抛光轮的材料为聚四氟乙烯或聚氨酯弹性体。

3.如权利要求1所述的光学元件表面粗糙度加工装置，其特征在于，所述抛光组件还包括用于驱动所述抛光轮相对所述待加工光学元件进行扫描运动的第二驱动机构，所述第二驱动机构被配置为至少有两个方向的移动自由度。

4.如权利要求3所述的光学元件表面粗糙度加工装置，其特征在于，所述第二驱动机构的移动端与所述电机座通过两个轴承座连接，所述电机座能够相对所述第二驱动机构绕着两个所述轴承座轴线进行转动。

5.如权利要求1所述的光学元件表面粗糙度加工装置，其特征在于，所述光学元件表面粗糙度加工装置还包括框架，所述存储槽安装在所述框架的下部，所述抛光组件安装在所述框架的上部，所述承载组件安装在所述框架的下部，所述施压组件安装在所述框架的中下部。