[发明专利]一种单晶炉用双底加热器在审
申请号: | 202110608579.X | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN113293432A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 郑伟扬 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用双底 加热器 | ||
1.一种单晶炉用双底加热器,其特征在于,包括两个结构相同的上部底加热器(10)和下部底加热器(20),以及一组陶瓷支架(30);
所述上部底加热器(10)倒扣在下部底加热器(20)的上方,二者之间通过一组陶瓷支架(30)架设在一起,使得上部底加热器(10)和下部底加热器(20)彼此之间不相互接触。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用双底加热器,其特征在于,上、下部底加热器结构相同,均包括两端的凸台式加热器脚板以及连接于两端凸台式加热器脚板并联的发热体;凸台式加热器脚板的底部和发热体的底部持平,顶部凸起高于发热体;当上部底加热器(10)倒扣在下部底加热器(20)的上方时,上部底加热器(10)的两端凸台式加热器脚板底部与下部底加热器的底部持平。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用双底加热器,其特征在于,所述的陶瓷支架(30)的底部一侧,设有开口朝向水平一侧的第一卡槽(31),陶瓷支架(30)的顶部,设有开口朝上的第二卡槽(32);位于下方的下部底加热器(20)的发热体卡合于第一卡槽(31)内,位于上方的上部底加热器(10)的发热体卡合于第二卡槽(32)内。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用双底加热器,其特征在于,所述的发热体包括彼此连接在一起的支撑发热体和补充发热体,所述支撑发热体沿两端凸台式加热器脚板之间的连线设置,所述补充发热体为一段弯曲结构,其连接在支撑发热体的中部,以增加整个发热体的长度。
5.根据权利要求1所述的单晶炉用双底加热器,其特征在于,所述的陶瓷支架(30)为四个,分别架设在上下两个底加热器在纵向上交错的发热体上。
6.根据权利要求5所述的单晶炉用双底加热器,其特征在于,所述的陶瓷支架(30)均分别架设在支撑发热体上靠近补充发热体的连接处。
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