[发明专利]一种静电型步进电机

说明书

本发明公开了一种静电型步进电机，包括：定子和动子，定子和动子以贴合方式设置，定子包括若干第一基础单元、若干第一供电线以及第一绝缘层，每个第一基础单元均包括若干定子电极，若干定子电极分别与若干第一供电线连接,第一绝缘层包裹于若干第一基础单元和若干第一供电线外，动子包括若干第二基础单元、若干第二供电线以及第二绝缘层，每个第二基础单元均包括若干动子电极，若干动子电极分别与若干第二供电线连接，第二绝缘层包裹于若干第二基础单元和若干第二供电线外。本发明步进电机在不改变加工精度的情况下，提高步进电机的步进精度，通过改变第一基础单元和第二基础单元中的电极数，实现各种不同的步进精度，降低高精度步进电机的成本。

技术领域

本发明涉及机械工程技术领域，尤其涉及的是一种静电型步进电机。

背景技术

近年来，随着技术的不断发展，对于高精度、低成本的驱动器提出了更高的要求。步进电机由于没有累计误差、步距稳定且精度较高，在机械领域，光刻机、电子显微镜、医疗器械等高精尖先进领域受到广泛的运用。传统的电磁型步进电机，提高精度需要繁杂的控制方式，成本居高不下，且易受磁场影响，难以应用在核磁共振机等高精密器械下。

步进电机在原理上突破了传统电磁电机的限制，通过电子加工工艺便可实现加工，快速降低了高精度电机的生产成本，且其结构简单、控制简便的优势在微机电领域中大放异彩。但现有的步进电机的步进精度完全受限于加工精度，造成高精度电机的成本过高。

因此，现有技术还有待改进和发展。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种静电型步进电机，旨在解决现有的步进电机的步进精度完全受限于加工精度，造成高精度电机的成本过高的问题。

本发明解决问题所采用的技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供一种静电型步进电机，其中，包括：定子和动子，所述定子和所述动子以贴合方式设置，所述定子包括若干第一基础单元、若干第一供电线以及第一绝缘层，每个第一基础单元均包括若干定子电极，各个第一基础单元中的若干定子电极分别与所述若干第一供电线连接,所述第一绝缘层包裹于所述若干第一基础单元和所述若干第一供电线外，所述动子包括若干第二基础单元、若干第二供电线以及第二绝缘层，每个第二基础单元均包括若干动子电极，各个第二基础单元中的若干动子电极分别与所述若干第二供电线连接，所述第二绝缘层包裹于所述若干第二基础单元和所述若干第二供电线外。

所述的静电型步进电机，其中，各个第一基础单元中的定子电极数与各个第二基础单元中的动子电极数不相等。

所述的静电型步进电机，其中，所述步进电机的步进精度由各个第一基础单元中的定子电极数与各个第二基础单元中的动子电极数确定。

所述的静电型步进电机，其中，所述若干定子电极沿所述第一绝缘层的长轴方向等间距设置,各个第一基础单元中各个定子电极的电极宽度与各个定子电极之间的电极间距相等。

所述的静电型步进电机，其中，所述若干动子电极沿所述第二绝缘层的长轴方向等间距设置,各个第二基础单元中各个动子电极的电极宽度与各个动子电极之间的电极间距相等。

所述的静电型步进电机，其中，各个第一基础单元中的定子电极数与所述若干第一供电线的条数相等,各个第二基础单元中的动子电极数与所述若干第二供电线的条数相等。

所述的静电型步进电机，其中，所述若干第一供电线上布置有触点，所述触点用于连接第一驱动电源，所述第一驱动电源用于驱动所述定子，所述第一驱动电源的相数与各个第一基础单元中的定子电极数相等。

所述的静电型步进电机，其中，所述若干第二供电线上布置有触点，所述触点用于连接第二驱动电源，所述第二驱动电源用于驱动所述动子，所述第二驱动电源的相数与各个第二基础单元中的动子电极数相等。