[发明专利]均热板组件及其制作方法

权利要求书

1.一种均热板组件，其特征在于，包括：

基板，所述基板包括母板和子板，所述母板具有镂空区，所述子板位于所述镂空区内，且所述子板与所述母板通过连接筋连接，其中，所述基板具有相背设置的正面和背面，所述子板的正面的内部区域形成有毛细结构，所述母板的正面和/或所述母板的背面形成有排气槽，所述排气槽的入口与所述镂空区连通，所述排气槽的出口与外界环境连通；

保护膜，所述保护膜覆盖于所述基板的正面和所述基板的背面，且露出所述毛细结构和所述出口。

2.根据权利要求1所述的均热板组件，其特征在于，所述出口贯穿所述母板的正面和所述母板的背面；

和/或，所述出口位于最靠所述母板的侧边的所述镂空区与所述母板的所述侧边之间。

3.根据权利要求2所述的均热板组件，其特征在于，所述保护膜包括设于所述基板的正面的第一保护膜和设于所述基板的背面的第二保护膜，所述第一保护膜覆盖所述出口贯穿所述基板的正面的一端，且所述第二保护膜避开所述出口贯穿所述基板的背面的一端。

4.根据权利要求1所述的均热板组件，其特征在于，所述出口位于所述母板的侧面。

5.根据权利要求1所述的均热板组件，其特征在于，在垂直于所述母板的正面的方向上，所述连接筋与所述保护膜之间具有间隙。

6.根据权利要求1-5任一项所述的均热板组件，其特征在于，所述母板具有多个所述镂空区，所述排气槽包括同侧设置的第一子排气槽和第二子排气槽，相邻的所述镂空区均通过所述第一子排气槽连通，且所述第二子排气槽用于连通所述第一子排气槽与所述外界环境，或所述第二子排气槽用于连通所述镂空区与所述外界环境。

7.根据权利要求6所述的均热板组件，其特征在于，多个所述镂空区沿第一方向排布，所述第一子排气槽位于相邻的所述镂空区之间，所述第二子排气槽用于沿垂直于所述第一方向的第二方向连通所述第一子排气槽和所述外界环境。

8.根据权利要求7所述的均热板组件，其特征在于，所述第二子排气槽的中部与所述第一子排气槽连通，所述第二子排气槽的两端均为所述出口；

和/或，相邻的所述镂空区之间沿所述第二方向排布有多个所述第一子排气槽，任一所述第一子排气槽与所述第二子排气槽的中部连通，且所述第二子排气槽的两端为所述出口。

9.根据权利要求7所述的均热板组件，其特征在于，所述第一方向与所述母板的侧边平行，且所述第一子排气槽沿所述第一方向延伸。

10.根据权利要求7所述的均热板组件，其特征在于，所述排气槽还包括与所述第二子排气槽同侧的第三子排气槽，所述第三子排气槽用于沿所述第一方向连通所有所述第二子排气槽，且所述第三子排气槽的两端均为所述出口。

11.根据权利要求10所述的均热板组件，其特征在于，所述第三子排气槽位于最靠所述母板的侧边的所述镂空区与所述母板的所述侧边之间。

12.根据权利要求11所述的均热板组件，其特征在于，所述母板具有沿垂直于所述第一方向的第一侧边和第二侧边，至少一个所述第三子排气槽位于最靠所述第一侧边的所述镂空区与所述第一侧边之间，且至少一个所述第三子排气槽位于最靠所述第二侧边的所述镂空区与所述第二侧边之间。

13.根据权利要求1-5任一项所述的均热板组件，其特征在于，所述排气槽的深度为A，所述母板的厚度为B，0＜A:B≤2:3；

和/或，所述排气槽的宽度为C，0.4mm≤C≤0.8mm。

14.一种均热板组件的制作方法，其特征在于，所述制作方法用于制作如权利要求1至13任一项所述的均热板组件，所述制作方法至少包括以下步骤：

在所述基板的板面上覆盖光阻膜；

对所述光阻膜进行曝光和显影，使所述光阻膜对应所述母板与所述子板之间的区域形成第一镂空图案，所述光阻膜对应所述子板的所述毛细结构的区域形成第二镂空图案，所述光阻膜对应所述排气槽的区域形成有第三镂空图案；

对所述基板进行蚀刻，使所述基板的板面对应所述第一镂空图案的区域腐蚀形成间隔设置的镂空部，相邻的所述镂空部之间形成所述连接筋，以及使所述基板的板面对应所述第二镂空图案的区域腐蚀形成所述毛细结构，以及使所述基板的板面对应所述第三镂空图案的区域腐蚀形成所述排气槽，且所述排气槽连通所述镂空部和所述外界环境；

在所述基板的板面上覆盖保护膜，且露出所述毛细结构和所述出口。