[发明专利]磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法及其制备的靶材

权利要求书

1.磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，旋转靶材包括背管和靶管，其特征是：将多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内，弹性簧片凸出于卡槽外，将靶管与背管以端部相对且中心轴重合的方式放置，使靶管与背管中的一者绕中心轴旋转，并使两者相对移动靠拢直至靶管套装到装有弹性簧片的背管上，停止所述旋转，该状态下所述弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，在绑定前，在背管外壁加工形成卡槽，具体地，将背管外壁加工成沿径向呈高短凸台和低长凸台间隔状，高短凸台与低长凸台之间的一圈凹陷即为所述卡槽。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，所述弹性簧片具体为一体成型的条状多节指形簧片，每节指形簧片的形状相同：中部为弓形连接部，两个自由端为能伸入所述背管外壁的卡槽内的弹性钩爪擦。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，所述将弹性簧片装在背管外壁的卡槽内具体地，弹性簧片的每节指形簧片都以弓形连接部跨在低长凸台顶部且两个钩爪擦分别伸入该低长凸台上、下两个卡槽内的方式卡装在背管外壁。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，弹性簧片的总长度略大于背管的周长，弹性簧片装在背管外壁的卡槽内的状态下，弹性簧片的首、尾两节指形簧片内外嵌套从而彼此插接。

6.根据权利要求4所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，所述弹性簧片材料为铍铜、铬锆铜、镍硅铜或铜-钛系合金。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，在绑定前，在靶管内壁加工形成螺旋纹理。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法，其特征是，靶管与背管两者都绕中心轴旋转，两者的旋转方向相反。

9.计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征是，所述计算机程序被处理器执行时能够实现权利要求1～8中任一项所述的磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法。

10.冷绑定式磁控溅射旋转靶材，包括背管和固定在背管外周的靶管，其特征是，所述背管是如权利要求1～8中任意一项加工后得到的背管，所述靶管是如权利要求1～8中任意一项加工后得到的靶管，所述靶管是以上述的冷绑定制备方法固定到所述背管上的。