[发明专利]液封式真空泵有效
申请号: | 202110612932.1 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN113202764B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 川崎裕之;佐佐木望 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | F04C25/02 | 分类号: | F04C25/02;F04C19/00;F04C29/00;F04C29/12 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;孙明轩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液封式 真空泵 | ||
1.一种液封式真空泵,其具有收容密封液的壳体、和所述壳体内所收容的至少一个叶轮,该液封式真空泵的特征在于,
在支承所述叶轮的主轴将壳体贯穿的部分上设有轴封部件,
所述叶轮具备:具有供所述主轴穿插的孔的圆筒状的轮毂部;从所述轮毂部向径向外侧延伸的多个叶片;和在面对所述轴封部件一侧从所述轮毂部的外周向径向外侧延伸的圆环状的侧板,
所述侧板与各所述叶片的宽度方向端面以及径向内端连接,
所述侧板的外径比形成于所述壳体的轴封部件收容空间的内径大,
所述侧板将所述轴封部件收容空间封闭。
2.根据权利要求1所述的液封式真空泵,其特征在于,
所述侧板的端面的至少一个面平行于与所述主轴的轴向正交的面。
3.根据权利要求1所述的液封式真空泵,其特征在于,
具有所述轮毂部、多个所述叶片和所述侧板的所述叶轮是通过铸造而一体成型的。
4.根据权利要求1所述的液封式真空泵,其特征在于,
具有将多个所述叶片在相邻的叶片间相互连结的圆环状的连结杆,
所述连结杆位于各所述叶片的宽度方向端部,且位于所述侧板的外周侧。
5.根据权利要求4所述的液封式真空泵,其特征在于,
所述连结杆具有从各所述叶片的宽度方向端部侧趋向宽度方向内侧而前端变窄的截面形状。
6.根据权利要求1所述的液封式真空泵,其特征在于,
所述液封式真空泵由具有吸气侧的第一级叶轮和排气侧的第二级叶轮的两级液封式真空泵构成,
所述侧板设在所述第二级叶轮。
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