[发明专利]边缘位置检测装置和边缘位置检测方法

权利要求书

1.一种边缘位置检测装置，其对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测，其特征在于，

该边缘位置检测装置具有：

卡盘工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；

激光位移计，其具有照射单元和受光单元，该照射单元包含配置在该卡盘工作台上方的光源，以横贯该被加工物的边缘的方式照射线状激光束，该线状激光束被整形为与从该光源向该保持面行进的行进方向垂直的线状，该受光单元包含多个光电转换元件，该多个光电转换元件沿着该线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列，分别接受该线状激光束的反射光；

移动机构，其使该激光位移计和该卡盘工作台沿着该照射区域的该长度方向相对地移动；以及

计算单元，其具有处理器，根据由该受光单元取得的受光量的变化的信息而计算该被加工物的边缘的位置。

2.根据权利要求1所述的边缘位置检测装置，其特征在于，

该卡盘工作台能够绕规定的旋转轴线进行旋转，

将该照射区域的该长度方向沿着与该规定的旋转轴线垂直的规定的方向配置，在向该保持面所保持的该被加工物照射了该线状激光束的状态下，通过该移动机构使该激光位移计和该卡盘工作台沿着该长度方向以相对移动速度V移动，在该相对移动速度V下的该激光位移计的移动时间T的前后，在相邻的第1光电转换元件和第2光电转换元件中的该第1光电转换元件的受光量不发生变化而该第2光电转换元件的受光量发生了变化的情况下，该计算单元计算从该第2光电转换元件的该移动时间T前的原来的位置向相邻的该第1光电转换元件的位置离开了V·T的位置，由此计算该被加工物的边缘的位置。

3.一种边缘位置检测方法，对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测，其特征在于，

该边缘位置检测方法具有如下的步骤：

保持步骤，利用卡盘工作台的保持面对该被加工物的一个面侧进行保持；

第1检测步骤，将被整形为与行进方向垂直的线状的线状激光束以横贯该被加工物的边缘的方式向该被加工物的位于与该一个面相反的一侧的另一个面侧照射，利用沿着该线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列并分别接受该线状激光束的反射光的多个光电转换元件中的第1光电转换元件和与该第1光电转换元件相邻的第2光电转换元件来检测反射光；

第2检测步骤，在以横贯该被加工物的边缘的方式向该另一个面侧照射该线状激光束的状态下，使该线状激光束和该卡盘工作台沿着照射到该另一个面侧的该照射区域的该长度方向相对地移动，从而检测在该第2光电转换元件中反射光的受光量发生了变化的情况；以及

边缘位置计算步骤，根据由从该第1检测步骤中的检测时机到该第2检测步骤中的检测时机为止的第1时间T₁与该线状激光束和该卡盘工作台的该长度方向的相对移动速度V之积计算出的距离V·T₁，计算从该第1检测步骤中的该第2光电转换元件的位置向该第1光电转换元件的位置离开了V·T₁的位置，由此计算该被加工物的边缘的位置。

4.根据权利要求3所述的边缘位置检测方法，其特征在于，

该卡盘工作台能够绕规定的旋转轴线进行旋转，

该照射区域的该长度方向沿着与该规定的旋转轴线垂直的规定的方向配置，

该边缘位置计算步骤还具有如下的步骤：

旋转开始步骤，在该保持步骤之后，使该卡盘工作台开始绕该规定的旋转轴线以规定的旋转速度V_R进行旋转；

第3检测步骤，检测在以该规定的间隔配置在直线上的该第1光电转换元件、该第2光电转换元件、第3光电转换元件以及第4光电转换元件中的该第3光电转换元件中反射光的受光量发生了变化的情况；以及

第4检测步骤，检测在该第4光电转换元件中反射光的受光量发生了变化的情况，

该边缘位置计算步骤包含如下的步骤：

第1计算步骤，通过计算从该第1检测步骤中的该第2光电转换元件的位置向该第1光电转换元件的位置离开了V·T₁的位置，计算该卡盘工作台旋转了V_R·T₁时的该被加工物的边缘的第1位置；

第2计算步骤，根据从该第2检测步骤中的检测时机到该第3检测步骤中的检测时机为止的第2时间T₂，计算从该第2检测步骤中的该第3光电转换元件的位置向该第2光电转换元件的位置离开了V·T₂的位置，由此计算该卡盘工作台旋转了V_R·(T₁+T₂)时的该被加工物的边缘的第2位置；以及

第3计算步骤，根据从该第3检测步骤中的检测时机到该第4检测步骤中的检测时机为止的第3时间T₃，计算从该第3检测步骤中的该第4光电转换元件的位置向该第3光电转换元件的位置离开了V·T₃的位置，由此计算该卡盘工作台旋转了V_R·(T₁+T₂+T₃)时的该被加工物的边缘的第3位置。