[发明专利]一种可以提高铝氧化表面质量的装置

说明书

本发明公开了一种可以提高铝氧化表面质量的装置，属于铝氧化设备技术领域，一种可以提高铝氧化表面质量的装置，包括化合仓、加热板、镀膜仓和工件，镀膜仓位于化合仓上端，工件位于镀膜仓内，化合仓外壁贯穿连接有铝气管和氧气管，化合仓下侧壁开设有排气口，化合仓内设有环形的气囊，进气口与镀膜仓连通，它可以实现在化合仓制备氧化铝气体之前将化合仓内预留的碳燃烧殆尽，有效避免在制备氧化铝气体时生成有毒的氮化铝和一氧化碳气体的问题，同时化合仓内的气囊会随着温度的升高而膨胀，气体仅能从气囊内侧通过，温度升高气囊内侧之间变小，气体通过量减小，有效避免喷出的氧化铝气体过多，导致工件表面质量下降的问题发生。

技术领域

本发明属于铝氧化设备技术领域，更具体地说，涉及一种可以提高铝氧化表面质量的装置。

背景技术

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言，真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其它金属也可通过蒸发沉积形成。随着我国电解铝、陶瓷、医药、电子、机械等行业的快速发展，市场对氧化铝需求量仍有较大的增长空间，氧化铝产量将会不断增长。

现有的真空蒸镀，由于温度无法完全恒定，导致氧化铝气体喷发出的流量不同，当生成氧化铝的化合仓内温度越高，仓内压强越大，氧化铝喷出的速度越快，流量越大，导致此处工件被蒸镀的氧化铝含量越多。当化合仓内温度波动时，工件表面蒸镀的氧化铝含量也存在波动，造成工件表面质量不佳的问题发生。

并且现有的蒸镀容器未存在除碳工序，而氧化铝在高温下会与氮气、碳发生化学反应，生成有毒的氮化铝和一氧化碳气体，化学反应式为Al2O3+N2+3C=2AlN+3CO严重污染了生产环境和生产者的身体健康。

发明内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种可以提高铝氧化表面质量的装置，它可以实现在化合仓制备氧化铝气体之前将化合仓内预留的碳燃烧殆尽，并持续通入氧气保证化合仓内的二氧化碳气体排出，有效避免在制备氧化铝气体时生成有毒的氮化铝和一氧化碳气体的问题，同时化合仓内的气囊会随着温度的升高而膨胀，气体仅能从气囊内侧通过，温度升高气囊内侧之间变小，气体通过量减小，有效避免喷出的氧化铝气体过多，导致工件表面质量下降的问题发生。

2．技术方案

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。

一种可以提高铝氧化表面质量的装置，包括化合仓1、加热板2、镀膜仓5和工件6。

镀膜仓5位于化合仓1上端，工件6位于镀膜仓5内。

加热板2位于化合仓1内，加热板2使化合仓1内温度高于700℃。

化合仓1外壁贯穿连接有铝气管4和氧气管7。

铝气管4为化合仓1内提供气态金属铝。

氧气管7为化合仓1内提供氧气。

化合仓1内先通入氧气并启动加热板2，在设定时间后通入气态金属铝。

化合仓1下侧壁开设有排气口101。

化合仓1内设有环形的气囊103。

气囊103内充满惰性气体，气囊103为弹性材料制成。

气体的上升必须且仅经过气囊103的内侧口。

化合仓1上端设有进气口104。

进气口104与镀膜仓5连通。

镀膜仓5上端设有出气口501。

出气口501与外界连通。