[发明专利]具有双铰链结构的微机电系统器件

权利要求书

1.一种微机电系统器件，包括：

第一层，该第一层包括一组定子梳状致动器；

第二层，该第二层包括一组转子梳状致动器和第一组铰链；和

第三层，该第三层包括第二组铰链，其中：

第二层与第一层相邻，第三层与第二层相邻，

第一组铰链和第二组铰链被配置成使反射镜结构围绕微机电系统器件的第一轴线倾斜，

其中经由第一组铰链和第二组铰链使反射镜结构围绕微机电系统器件的第一轴线倾斜的驱动扭矩由该一组定子梳状致动器中的定子梳状致动器与该一组转子梳状致动器中的转子梳状致动器接合引起，

第一组铰链被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的在与第一轴线相关联的方向上在反射镜结构上的横向线性力，和

第二组铰链被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的围绕微机电系统器件的第二轴线在反射镜结构上的平面内扭矩。

2.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，所述定子梳状致动器的多个齿被配置成与所述转子梳状致动器的多个齿接合，以产生经由第一组铰链和第二组铰链使所述反射镜结构围绕第一轴线倾斜的驱动扭矩，

其中所述横向线性力和平面内扭矩是基于转子梳状致动器的多个齿和定子梳状致动器的多个齿在接合时之间的未对准而产生的。

3.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，所述反射镜结构包括以下中的至少一个：

反射镜；

不包括第一组铰链的第二层的一个或多个部分；或者

不包括第二组铰链的第三层的一个或多个部分。

4.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，第一组铰链包括两个或更多个杆铰链，并且第二组铰链包括两个或更多个蛇形铰链。

5.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，第一组铰链中的铰链包括单个杆，并且第二组铰链中的铰链包括多个杆。

6.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，与第一组铰链和第二组铰链相关联的枢轴中心与所述反射镜结构的质心对准。

7.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，与第一组铰链和第二组铰链相关联的枢轴中心被定位成抵抗由与所述微机电系统器件的操作相关联的操作振动引起的线性惯性振动。

8.根据权利要求1所述的微机电系统器件，其中，第一组铰链通过第一组锚定件锚定到第一层，并且第二组铰链通过第二组锚定件锚定到第一层，其中：

第一组锚定件形成第二层的一部分；和

第二组锚定件形成第二层的一部分和第三层的一部分。

9.一种微机电系统器件，包括：

第一层，该第一层包括一组定子梳状致动器；和

第二层，该第二层包括一组转子梳状致动器、第一组铰链和第二组铰链，其中：

第二层与第一层相邻，

第一组铰链和第二组铰链被配置成基于由所述一组定子梳状致动器中的定子梳状致动器与所述一组转子梳状致动器中的转子梳状致动器接合引起的驱动扭矩，使反射镜结构围绕所述微机电系统器件的第一轴线倾斜，

第一组铰链被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的在与第一轴线相关联的方向上在反射镜结构上的横向线性力，和

第二组铰链被配置为抵抗由定子梳状致动器与转子梳状致动器接合引起的围绕微机电系统器件的第二轴线在反射镜结构上的平面内扭矩。

10.根据权利要求9所述的微机电系统器件，其中，第二层包括反射镜，

其中所述反射镜结构包括第二层的一个或多个部分，该第二层的一个或多个部分包括反射镜并且不包括第一组铰链和第二组铰链。

11.根据权利要求9所述的微机电系统器件，其中，第一组铰链包括第一类型的扭转铰链，第二组铰链包括第二类型的扭转铰链。