[发明专利]一种大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法

权利要求书

1.一种大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：采用同步辐射X射线微束技术对样品进行检测；

S2：采用切入射方法获得表面金属膜层的衍射信号，通过转动样品，使样品与入射X射线相切，入射X射线与样品表面夹角趋近于0°，进而获得表面金属膜层的衍射信号；

S3：采用掠入射方法获得中间金属膜层的衍射信号，通过转动样品，使样品中间层与入射X射线形成夹角，夹角小于5°，进而获得中间层金属薄膜镀层的衍射信号；

S4：采用透射方法对衍射信号进行校准，此时转动样品，使X射线水平穿透2层复合镀层，从而获得2套衍射信号以辅助校准；

所述样品表面设置有大曲率的曲面，且表面镀有至少两层纳米厚度金属薄膜。

2.根据权利要求1所述的大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，其特征在于，在步骤S1中的衍射光源采用同步辐射X射线微束对样品进行检测，光束能量经晶体选择后为20KeV，束斑尺寸卡狭缝约为1x1微米。

3.根据权利要求1所述的大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，其特征在于，在步骤S3中，将样品转动到中间金属薄膜的最大吸收处为止，采用小角掠射方法获得衍射信号。

4.根据权利要求1所述的大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，其特征在于，所述样品为石英基底的大曲率微小构件陀螺仪，石英基底表面分层镀有厚度分别为200纳米的金属金膜和10纳米的金属钛膜。

5.根据权利要求1所述的大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，其特征在于，在步骤S1中，所用面探型号为Mar165，探测像素尺寸为75微米。