[发明专利]一种单晶硅开方切割运行机构及单晶硅开方切割机在审
申请号: | 202110619176.5 | 申请日: | 2021-06-03 |
公开(公告)号: | CN113400497A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 李海威;梁兴华;林胜;范舒彬;李元业;沈锦锋;陈武森;林光展 | 申请(专利权)人: | 福州天瑞线锯科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 施文武;林祥翔 |
地址: | 350100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 开方 切割 运行 机构 切割机 | ||
1.一种单晶硅开方切割运行机构,其特征在于,包括切割轮系及切割线,所述切割轮系包括第一切割轮组、第二切割轮组、第一导向轮组及第二导向轮轮组;
所述第一切割轮组包括第一切割轮及第二切割轮,所述第一切割轮及第二切割轮相向设置;
所述第二切割轮组包括第三切割轮及第四切割轮,所述第三切割轮及第四切割轮相向设置;
所述第一切割轮的切割方向与第三切割轮的切割方向相互垂直;
所述切割线设置在第一切割轮组、第二切割轮组、第一导向轮组及第二导向轮组之间;
所述第一导向轮组设置在第一切割轮与第三切割轮之间,所述第一导向轮组用于将第一切割线上的切割线引向第三切割轮;
所述第二导向轮组设置在第二切割轮与第四切割轮之间,所述第二导向轮组用于将第二切割线上的切割线引向第四切割轮;
所述切割线分别在第一切割轮及第二切割轮之间以及所述第三切割轮及第四切割轮之间形成相互垂直的切割段。
2.根据权利要求1所述单晶硅开方切割运行机构,其特征在于,所述切割轮系为两个,两个切割轮系相对设置,且两个切割轮系的切割段沿着切割方向投影成井字形。
3.一种单晶硅开方切割机,其特征在于,包括底架、切割工作台架、切割运行机构及切割头机架;
所述切割工作台架设置在底架上,所述切割工作台架用于放置待切割单晶硅棒;
所述切割运行机构包括切割轮系、切割线、固定板、滑动座板及轮系支架;
所述固定板底部设有用于待切割单晶硅棒通过的通孔;
所述固定板连接于滑动座板,所述滑动座板滑动设置在切割头机架上;
所述切割轮系设置在轮系支架上,所述切割轮系包括第一切割轮组、第二切割轮组、第一导向轮组及第二导向轮组;
所述第一切割轮组包括第一切割轮及第二切割轮,所述第一切割轮及第二切割轮相向设置;
所述第二切割轮组包括第三切割轮及第四切割轮,所述第三切割轮及第四切割轮相向设置;
所述第一切割轮的切割方向与第三切割轮的切割方向相互垂直;
所述切割线设置在第一切割轮组、第二切割轮组、第一导向轮组及第二导向轮组之间;
所述第一导向轮组设置在第一切割轮与第三切割轮之间,所述第一导向轮组用于将第一切割线上的切割线引向第三切割轮;
所述第二导向轮组设置在第二切割轮与第四切割轮之间,所述第二导向轮组用于将第二切割线上的切割线引向第四切割轮;
所述切割线分别在第一切割轮及第二切割轮之间以及所述第三切割轮及第四切割轮之间在固定板通孔上形成相互垂直的切割段;
所述切割头机架设置在底架上。
4.根据权利要求3所述单晶硅开方切割机,其特征在于,所述切割轮系为两个,两个切割轮系相对设置,且两个切割轮系的切割段沿着切割方向投影成井字形。
5.根据权利要求3所述单晶硅开方切割机,其特征在于,所述切割头机架包括运行支架及驱动机构;
所述滑动座板滑动设置在运行支架上;
所述驱动机构设置在滑动座板及运行支架之间,所述驱动机构用于驱动滑动座板沿着运行支架上下运动。
6.根据权利要求5所述单晶硅开方切割机,其特征在于,所述驱动机构包括传动丝杆及驱动电机;
所述驱动电机设置在运行支架上,所述驱动电机与传动丝杆传动连接,所述驱动电机用于带动传动丝杆转动;
所述滑动座板上设有导向孔,所述滑动座板上导向孔与传动丝杆螺纹连接。
7.根据权利要求6所述单晶硅开方切割机,其特征在于,所述驱动电机通过减速机传动连接于传动丝杆。
8.根据权利要求5所述单晶硅开方切割机,其特征在于,所述运行支架的两侧设有导轨;
所述滑动座板的两侧设有滑块,所述滑动座板通过滑块滑动设置在运行支架的导轨上。
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