[发明专利]一种基于电子动态调控的金属纳米网的制备方法

权利要求书

1.一种基于电子动态调控的金属纳米网状结构的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一：将飞秒激光单脉冲经过迈克逊干涉仪与四分之一波片的组合光路转变为偏振方向互相垂直的飞秒激光双脉冲序列，然后调整飞秒激光双脉冲两个子脉冲能量相等，同时双脉冲总能量密度调整到待加工金属材料的烧蚀阈值的0.9倍至0.99倍的范围内；然后调节迈克尔逊干涉仪光路的一臂，使得飞秒激光双脉冲的脉冲延迟在4ps-9ps的范围内；

步骤二：将步骤一中得到的飞秒激光双脉冲序列通过光学透镜垂直聚焦到待加工金属材料的表面，控制待加工金属材料以设定的移动速度运动，即可在金属表面得到金属纳米网状结构。

2.如权利要求1所述的基于电子动态调控的金属纳米网状结构的制备方法，其特征在于：所述步骤一产生偏振方向互相垂直的飞秒激光双脉冲序列过程中，四分之一波片的光轴与激光的偏振方向的夹角为45°。

3.如权利要求1所述的基于电子动态调控的金属纳米网状结构的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，当使用的聚焦透镜为焦距为100mm的平凸透镜时，激光重复频率为1000Hz，待加工金属材料的移动速度为200-500μm/s。

4.实现如权利要求1至3任意一项方法的装置，其特征在于：包括：飞秒激光器、第一反射镜、第二反射镜、第一衰减片、第三反射镜、一维平移台、分束镜、第二衰减片、四分之一波片、第四反射镜、第五反射镜、光快门、第六反射镜、第七反射镜、第八反射镜后，产生偏振方向互相垂直的、脉冲延迟在4ps-10ps范围内的飞秒激光双脉冲序列，经透镜聚焦后在待加工金属材料表面扫描加工即可制备出金属纳米网。