[发明专利]激光偏振合束测量装置

权利要求书

1.一种激光偏振合束测量装置，其特征在于，包括第一光源(LS1)、第二光源(LS2)、第一半波片(HW1)、第二半波片(HW2)、第一检偏器(P1)、第二检偏器(P2)、第一反射镜(RM1)、第二反射镜(RM2)、第三反射镜(RM3)、第四反射镜(RM4)、第五反射镜(RM5)、第六反射镜(RM6)、第一光束调节模块(LA1)、第二光束调节模块(LA2)、偏振合束镜(BC)、取样镜(SP)、第一检测器(PD1)和第二检测器(PD2)，其中：

所述第一光源(LS1)的出射激光依次经过第一检偏器(P1)、第五反射镜(RM5)和第六反射镜(RM6)的光路反射偏转后被引导至偏振合束镜(BC)；

所述第二光源(LS2)的出射激光依次经过第一反射镜(RM1)、第二反射镜(RM2)、第三反射镜(RM3)和第四反射镜(RM4)的光路反射偏转后被引导至偏振合束镜(BC)；

所述第一光束调节模块(LA1)设置于第六反射镜(RM6)与偏振合束镜(BC)之间，用于调节第一光源(LS1)的反射光束的发散角和光斑尺寸；所述第二光束调节模块(LA2)设置于第四反射镜(RM4)与偏振合束镜(BC)之间，用于调节第二光源(LS2)的反射光束的发散角和光斑尺寸，其中，所述第一光束调节模块(LA1)和第二光束调节模块(LA2)均为可调的低倍扩束镜，通过调节低倍扩束镜内的透镜间距实现合束前单激光束的光斑尺寸与发散角的一致性调节；

所述第一半波片(HW1)和第二半波片(HW2)用于分别将第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的出射光束转换为两正交偏振态激光，所述偏振合束镜(BC)用于将所述两正交偏振态激光进行合束，输出合束激光；

所述取样镜(SP)设置于偏振合束镜(BC)的出射光路上，用于将所述合束激光切分为反射子光束和透射子光束，所述第一检测器(PD1)和第二检测器(PD2)用于检测所述反射子光束和透射子光束分别对应的远场和近场光斑重合度；

其中，所述第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的出光口方向一致且相互错开，所述第一光源(LS1)和第二光源(LS2)均出射线偏振激光。

2.根据权利要求1所述的激光偏振合束测量装置，其特征在于，所述第一半波片(HW1)设置于第一光源(LS1)与第一检偏器(P1)之间，用于将所述第一光源(LS1)的出射激光转换为P偏振光；

所述第二半波片(HW2)设置于第一反射镜(RM1)与第二反射镜(RM2)之间，用于将第二光源(LS2)的出射激光转换为S偏振光。

3.根据权利要求1所述的激光偏振合束测量装置，其特征在于，所述第一检偏器(P1)用于检测第一光源(LS1)的出射激光经过转换后的激光偏振态；

所述第二检偏器(P2)设置于第二半波片(HW2)与第二反射镜(RM2)之间，用于检测第二光源(LS2)的出射激光经过转换后的激光偏振态。

4.根据权利要求1所述的激光偏振合束测量装置，其特征在于，所述激光偏振合束测量装置还包括第一光阱(LT1)和第二光阱(LT2)，分别设置于第一检偏器(P1)和第二检偏器(P2)的反射面上，所述第一光阱(LT1)和第二光阱(LT2)分别用于吸收由于第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的低线性度引起的杂散光。

5.根据权利要求1所述的激光偏振合束测量装置，其特征在于，所述激光偏振合束测量装置还包括激光功率计或激光能量计，分别设置于第一检偏器(P1)的透射面和第二检偏器(P2)的反射面上，所述激光功率计或激光能量计分别用于检测所述第一检偏器(P1)透射和第二检偏器(P2)反射的激光功率或能量。

6.根据权利要求1所述的激光偏振合束测量装置，其特征在于，所述第一反射镜(RM1)、第二反射镜(RM2)、第三反射镜(RM3)、第四反射镜(RM4)、第五反射镜(RM5)和第六反射镜(RM6)均为45°全反镜，所述第三反射镜(RM3)、第四反射镜(RM4)、第五反射镜(RM5)和第六反射镜(RM6)安装于可调镜架上，所述可调镜架用于调节光束指向。