[发明专利]一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法

权利要求书

1.一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法，其特征在于：步骤如下：

步骤一：光纤白光干涉测量装置的调试，激光板条固定于三维位移台，调整位移台控制激光板条靠近或远离光纤探头，激光板条表面位于光纤探头出射光束的束腰位置；

步骤二：激光板条沿x方向移动，光斑自内向外扫过激光板条边缘，直至光斑中心恰好位于激光板条边缘处，通过三维位移台得到移动距离x，光纤白光干涉测量装置测出移动x距离的反射光功率P(x)：

其中：P₀为光纤探头出射光功率，R为激光板条表面反射率，P为反射回光纤探头内部的光功率，xy平面为激光板条表面；

得到的参数w值记为w₁；此过程连续且光斑反射光功率的采集位置间距相等，在保证位移步进量精准的前提下紧密地采集反射光功率；在相同的光斑位置处多次采集反射光功率取平均值；

步骤三：激光板条沿-x方向移动，光斑自外向内再次扫过光板条边缘，光纤白光干涉测量装置测出移动-x距离的反射光功率P(-(x-α))，与步骤二中P(x)对比得到三维位移台的机械回程误差α；

步骤四：激光板条沿y方向移动，光斑自内向外扫过激光板条边缘，直至光斑中心恰好位于激光板条边缘处，通过三维位移台得到移动距离y，光纤白光干涉测量装置测出移动y距离的反射光功率P(y)，即得到的参数w值记为w₂；

步骤五：重复步骤二和步骤四，使光斑自内向外扫过激光板条剩余两边，每次光斑中心恰好位于激光板条边缘处停止，获得光斑强度分布参数w₃和w₄的值，并通过步骤三的结果消除测量结果中的机械回程误差α，将圆形光斑等分为四个扇形区域，四个扇形的强度分布参数分别为w₁、w₂、w₃和w₄，即获得光斑强度分布。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法，其特征在于：步骤一中的光纤白光干涉测量装置的调试包括光纤光路和电路驱动的调试，激光板条固定于三维位移台上，固定过程中调整角度保证激光板条待测面严格对准光纤探头；三维位移台受电脑软件驱动，各个方向移动步进量可以由软件获取；光纤探头主要由光纤纤端和自聚焦透镜构成，其出射光束在束腰位置处光斑最小，且可以全部反射回光纤探头。