[发明专利]一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置

权利要求书

1.一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置，其包括执行机械臂(1)、角度座(2)、连接平台(13)、高频横移驱动座(12)、外研磨环(5)、中间研磨环(6)和内研磨构件(8)，其中，所述执行机械臂的一端与研磨机器人的驱动臂连接，所述执行机械臂的另一端通过所述角度座连接所述连接平台，所述连接平台通过所述角度座可调节角度的设置，其特征在于，所述连接平台的台面上可横移的设置有所述高频横移驱动座(12)，所述高频横移驱动座(12)上连接设置有环形布置的所述外研磨环，所述高频横移驱动座(12)上还连接设置有环形布置的所述中间研磨环，所述高频横移驱动座(12)上位于所述中间研磨环的环形空间内连接设置有所述内研磨构件，所述外研磨环围设在所述中间研磨环的外部，所述内研磨构件的研磨端构设为能够调节角度的设置，且所述中间研磨环(6)和内研磨构件(8)与所述高频横移驱动座之间的间距均能够单独调节的设置，以便使得所述外研磨环(5)、中间研磨环(6)和内研磨构件(8)中的一个或者多个与待研磨表面相接触；

所述连接平台上设置有驱动所述高频横移驱动座(12)横向高频移动的直线震荡电机；

所述高频横移驱动座(12)上连接设置有环形的外环座(10)、中间环座(9)，所述外研磨环可更换的嵌合固定在所述外环座的端面，所述中间研磨环可更换的嵌合固定在所述中间环座的端面；

所述高频横移驱动座(12)上设置有第一驱动气缸(4)，所述第一驱动气缸的输出端连接所述中间环座(9)，所述中间环座与所述高频横移驱动座(12)之间可导向滑动的设置，所述外环座(10)与所述高频横移驱动座之间固定连接设置；

所述高频横移驱动座的中间位置设置有第二驱动气缸(3)，所述第二驱动气缸的输出端连接升降架(7)，所述升降架与所述高频横移驱动座之间可导向滑动的连接设置，所述内研磨构件(8)连接安装在所述升降架上;

所述内研磨构件(8)包括旋转驱动器(11)、安装盘和多个研磨头(14)，所述安装盘可调节角度的设置在所述升降架上，所述安装盘上设置有多个成排列布置的研磨头，所述安装盘上还设置有旋转驱动器，所述旋转驱动器能够同时驱动各个研磨头旋转转动，且各个研磨头的旋转均为绕自身轴线旋转；

所述升降架上设置有角度控制电机，所述角度控制电机的输出端连接角度驱动轴(15)，所述角度驱动轴连接至铰接轴，所述安装盘采用所述铰接轴铰接连接至所述升降架。

2.根据权利要求1所述一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置，其特征在于：所述外研磨环(5)的研磨面的粗糙度或者研磨颗粒的粒度小于所述中间研磨环(6)的研磨面的粗糙度或者研磨颗粒的粒度。

3.根据权利要求1所述一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置，其特征在于：所述外研磨环(5)的研磨面的面积或者宽度大于所述中间研磨环(6)的面积或者宽度。

4.根据权利要求1所述一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置，其特征在于：所述中间研磨环(6)的内侧还设置有安装在所述高频横移驱动座(12)上的多个吹屑喷头和/或研磨液喷头。