[发明专利]气体供给系统

权利要求书

1.一种气体供给系统(10)，其具有高压储罐(14)、调节器(40)、喷射器(42)、第1压力传感器(62)、第2压力传感器(64)和控制部(22)，其中，

所述调节器使从所述高压储罐排出的气体的压力减小到调压范围(PR)内并使其向下游侧流出；

所述喷射器设置于所述调节器的下游侧，通过反复开阀和闭阀来调整所述气体的流量；

所述第1压力传感器检测所述调节器的上游侧的压力；

所述第2压力传感器检测所述调节器与所述喷射器之间的压力；

所述控制部控制所述喷射器的动作，

所述气体供给系统的特征在于，

所述控制部构成为，进行将所述第1压力传感器的第1检测信息(I1)与第1阈值(T1)进行比较的初始监视工序，在判定出所述第1检测信息达到所述第1阈值以下的情况之后，进行将所述第2压力传感器的第2检测信息(I2)与第2阈值(T2)进行比较的2次监视工序，

并且，所述控制部使所述2次监视工序的所述喷射器的开阀期间(To)和闭阀期间(Tc)双方比所述初始监视工序的所述喷射器的开阀期间和闭阀期间长。

2.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部通过延长所述喷射器的开阀期间和闭阀期间，使所述调压范围的下限值上升。

3.根据权利要求2所述的气体供给系统，其特征在于，

所述第1压力传感器将第1误差范围(E1)包含于所述第1检测信息，

所述第2压力传感器将比所述第1误差范围窄的第2误差范围(E2)包含于所述第2检测信息，

在所述初始监视工序中，所述控制部使所述调压范围与以所述第2阈值为基点的所述第2误差范围重叠，另一方面，

在所述2次监视工序中，所述控制部通过延长所述喷射器的开阀期间和闭阀期间双方，使所述调压范围相对于以所述第2阈值为基点的所述第2误差范围偏移。

4.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部在所述第2检测信息为所述第2阈值以下的情况下，判定出所述高压储罐的缺气。

5.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部在所述第2检测信息为所述第2阈值以下之前，持续使所述喷射器的开阀期间和闭阀期间延长的状态。

6.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部在所述第2检测信息为所述第2阈值以下的情况下，停止从所述高压储罐排出所述气体。

7.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部在从所述初始监视工序转移至所述2次监视工序时，以不改变所述开阀期间和所述闭阀期间的占空比的方式延长由1次的所述开阀期间和所述闭阀期间构成的驱动间隔(Tin)。

8.根据权利要求7所述的气体供给系统，其特征在于，

所述控制部在所述初始监视工序的所述驱动间隔的1.5倍～2倍的范围内延长所述2次监视工序的所述驱动间隔。