[发明专利]一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种IZO靶材前驱体的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：将铟原料液和锌原料液混合，添加pH调节剂，调节pH至7.7~8.4反应，反应完成后，固液分离，收集固相，将所述固相干燥，煅烧，得IZO靶材前驱体；

所述反应需球磨或乳化；

所述铟原料液选自硫酸铟溶液、硝酸铟溶液和氯化铟溶液中的至少一种；

所述锌原料液选自硫酸锌溶液、硝酸锌溶液和氯化锌溶液中的至少一种；

所述铟原料液中铟的摩尔浓度为0.05mol/L~0.3mol/L；

所述锌原料液中锌的摩尔浓度为0.05mol/L~0.3mol/L；

所述反应的温度为20℃~45℃；

所述pH调节剂为氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铯、一水合氨、碳酸钠、碳酸钾、碳酸铯、碳酸氢钠、碳酸氢钾和碳酸氢铯中的至少一种；

所述IZO靶材前驱体包括以下组分：氧化铟和氧化锌；

所述氧化铟和所述氧化锌的质量比为1:0.05~0.2；

所述IZO靶材前驱体的比表面积在10m²/g至20m²/g之间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述铟原料液为氯化铟。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述锌原料液为氯化锌。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述煅烧的温度为600℃~1500℃。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述煅烧的温度为1100℃~1450℃。

6.一种如权利要求1至5任一项所述的IZO靶材前驱体的制备方法在制备IZO靶材中的应用。

7.一种IZO靶材，其特征在于：所述IZO靶材的制备原料为权利要求1至5任一项所述的制备方法制备得到的IZO靶材前驱体。

8.一种制备如权利要求7所述IZO靶材的方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、将所述IZO前驱体喷雾造粒后得IZO粉体；

S2、将所述IZO粉体模压成型，冷等静压，得毛坯靶材；

S3、将所述毛坯靶材脱脂后烧结，即得所述IZO靶材。

9.根据权利要求8所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S2中模压成型，压力为0.1MPa~0.8MPa。

10.根据权利要求8所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S2中冷等静压，压力为200MPa~400MPa。

11.根据权利要求8所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中脱脂的温度为400℃~700℃；所述步骤S3中脱脂的升温速度为0.5℃/min~2℃/min。

12.根据权利要求11所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中脱脂的升温速度为0.5℃/min~1℃/min。

13.根据权利要求8所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中烧结的温度为1000℃~1500℃；所述步骤S3中烧结的升温速度为0.5℃/min~5℃/min；所述步骤S3中烧结的降温速度为5℃/min~10℃/min。

14.根据权利要求13所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中烧结的升温速度为2℃/min~3℃/min。

15.根据权利要求13所述的一种IZO靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中烧结的降温速度为6℃/min~7℃/min。

16.一种如权利要求7所述的IZO靶材在制备OLED显示器件中的应用。