[发明专利]一种高效的节能型真空系统

说明书

本发明公开了一种高效的节能型真空系统，本发明涉及高效节能真空系统技术领域，解决了现有技术中真空系统运行时不能够对真空容器进行检测从而真空系统的运行效率降低的技术问题，通过容器检测单元对真空容器的参数信息进行分析，从而对真空容器进行检测，通过公式获取到真空容器的检测系数JCi，将真空容器的检测系数JCi与真空容器的检测系数阈值进行比较：若真空容器的检测系数JCi≥真空容器的检测系数阈值，则判定对应真空容器不适合进行真空操作，生成容器异常信号并将对应真空容器标记为异常容器；对真空容器进行检测筛选，提高了真空系统的运行效率，提高真空容器的可用性。

技术领域

本发明涉及高效节能真空系统技术领域，具体为一种高效的节能型真空系统。

背景技术

真空系统，是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业，该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

但是在现有技术中，真空系统运行时不能够对真空容器进行检测，从而真空系统的运行效率降低。

发明内容

本发明的目的就在于提出一种高效的节能型真空系统，通过容器检测单元对真空容器的参数信息进行分析，从而对真空容器进行检测，通过公式获取到真空容器的检测系数JCi，将真空容器的检测系数JCi与真空容器的检测系数阈值进行比较：若真空容器的检测系数JCi≥真空容器的检测系数阈值，则判定对应真空容器不适合进行真空操作，生成容器异常信号并将对应真空容器标记为异常容器，随后将容器异常信号和异常真空容器发送至真空管理平台；若真空容器的检测系数JCi＜真空容器的检测系数阈值，则判定对应真空容器适合进行真空操作，生成容器正常信号并将对应真空容器标记为正常容器，随后将容器正常信号和正常真空容器发送至真空管理平台；对真空容器进行检测筛选，提高了真空系统的运行效率，提高真空容器的可用性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种高效的节能型真空系统，包括注册登录单元、数据库、真空管理平台、真空泵检测单元、容器检测单元、维护保养单元以及真空运行单元；

所述容器检测单元用于对真空容器的参数信息进行分析，从而对真空容器进行检测，真空容器的参数信息包括压力数据、强度数据以及灰尘数据，压力数据为真空容器内部的压力与外界的压力差值，强度数据为真空容器的外表面承受压力差的临界值，灰尘数据为真空容器内部空气的灰尘含量，将真空容器标记为i，i＝1，2，……，n，n为正整数，具体分析检测过程如下：

步骤S1：获取到真空容器内部的压力与外界的压力差值，并将真空容器内部的压力与外界的压力差值标记为YLCi；

步骤S2：获取到真空容器的外表面承受压力差的临界值，并将真空容器的外表面承受压力差的临界值标记为LJZi；

步骤S3：获取到真空容器内部空气的灰尘含量，并将真空容器内部空气的灰尘含量标记为HCHi；

步骤S4：通过公式获取到真空容器的检测系数JCi，其中，a1、a2以及a3均为比例系数，且a1＞a2＞a3＞0；

步骤S5：将真空容器的检测系数JCi与真空容器的检测系数阈值进行比较：

若真空容器的检测系数JCi≥真空容器的检测系数阈值，则判定对应真空容器不适合进行真空操作，生成容器异常信号并将对应真空容器标记为异常容器，随后将容器异常信号和异常真空容器发送至真空管理平台；