[发明专利]半导体工艺设备的告警方法和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种半导体工艺设备的告警方法，其特征在于，包括：

在告警事件发生时，获取对应的告警对象的告警描述语句中预设状态数据的通道全路径；

根据所述通道全路径，获取所述预设状态数据的名称和值；

采用获取的所述预设状态数据的名称和值替换所述通道全路径，更新所述告警描述语句；

根据更新后的所述告警描述语句生成告警信息。

2.根据权利要求1所述的告警方法，其特征在于，还包括：

基于所述告警对象对应的告警定义代码，生成所述告警描述语句。

3.根据权利要求2所述的告警方法，其特征在于，所述告警定义代码包括：基本描述语句、通道全路径获取语句，所述通道全路径获取语句中包括至少一个通道全路径获取命令；

生成告警描述语句，包括：

执行所述通道全路径获取语句中的所述通道全路径获取命令，获取所述通道全路径；

采用获取的所述通道全路径替换所述通道全路径获取命令，更新所述通道全路径获取语句，所述基本描述语句和更新后的所述通道全路径获取语句组成所述告警描述语句。

4.根据权利要求3所述的告警方法，其特征在于，所述通道全路径获取语句还包括信息类型字符串，所述信息类型字符串位于所述通道全路径获取语句的开头，用于表示所述预设状态数据的类型；

所述通道全路径获取语句包括多个相同类型的所述通道全路径获取命令时，多个相同类型的所述通道全路径获取命令之间通过预设符号分隔开；

所述生成告警描述语句，还包括：

采用预设字符串替换所述预设符号，更新所述通道全路径获取语句。

5.根据权利要求4所述的告警方法，其特征在于，所述预设状态数据的类型包括以下至少之一：状态量、配置值、输入值、输出值。

6.根据权利要求3所述的告警方法，其特征在于，所述基本描述语句和所述通道全路径获取语句之间、以及不同类型的所述通道全路径获取语句之间均通过第一预设标点符号分隔开；

所述生成告警描述语句，还包括：

执行当前所述通道全路径获取语句后，若未查找到所述第一预设标点符号，则在当前所述通道全路径获取语句后添加第二预设标点符号。

7.根据权利要求3所述的告警方法，其特征在于，所述基本描述语句包括告警处理提示信息，所述告警处理提示信息用于提示用户处理所述告警事件的方式。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的告警方法，其特征在于，在所述根据更新后的所述告警描述语句生成告警信息之后，还包括：

显示所述告警信息，和/或发出告警信号。

9.根据权利要求1至7中任意一项所述的告警方法，其特征在于，所述告警信息还包括告警名称、告警等级和告警编号。

10.一种半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备包括控制装置，用于在告警事件发生时，获取对应的告警对象的告警描述语句中预设状态数据的通道全路径；根据所述通道全路径，获取所述预设状态数据的名称和值；采用获取的所述预设状态数据的名称和值替换所述通道全路径，更新所述告警描述语句；根据更新后的所述告警描述语句生成告警信息。