[发明专利]一种玻璃基板的制作方法在审

专利信息
申请号: 202110627206.7 申请日: 2021-06-04
公开(公告)号: CN113380834A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 卢敬权;李泽祺 申请(专利权)人: 东莞市中晶半导体科技有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G09F9/33
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张建
地址: 523000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 制作方法
【说明书】:

发明公开了一种玻璃基板的制作方法,包括:通过原子层沉积方法,在玻璃基板的侧边及其近邻区域沉积出导电基层;在所述导电基层上形成导电加厚层,得到包括所述导电基层和所述导电加厚层的侧边及其近邻线路,所述侧边及其近邻线路用于实现所述玻璃基板的双面电互连。本发明提供的一种玻璃基板的制作方法,利用ALD所具有的低温沉积、高致密和高台阶覆盖度的特性,在玻璃基板的侧边及其近邻区域沉积导电基层,继而加厚形成包括导电基层和导电加厚层的侧边及其近邻线路,可以实现玻璃基板的双面电互连,以实现拼接屏,且不影响基板强度,实现的拼接缝隙小。

技术领域

本发明属于显示技术领域,尤其涉及一种玻璃基板的制作方法。

背景技术

随着社会的不断发展以及国家的大力倡导,LED行业成为当今最为活跃的行业之一,LED显示屏产品逐渐走进社会生活的各个领域。与此同时,随着LED显示屏技术的创新与发展,单位面积的分辨率高的小间距LED显示屏模组已经成为LED显示屏的主流产品,它可以显示更高清晰度的图形图像和视频,也可以显示更多的视频和图像画面,尤其是在图像拼接方面的运用,可以做到任意大面积拼接。

在当前LED显示屏产品中,不管是COB、IMD还是SMD封装产品,其基板一般都是PCB,PCB基材为FR4或BT等。采用上述基板的LED显示屏,拼接容易,但其驱动方式为被动式驱动(PM驱动模式),存在着驱动芯片数量多的问题。例如,一个4k屏,具有数百上千个驱动芯片。另外,上述基板还存在着平整度低及焊盘间距难以缩小的问题。

因此,已应用于LCD(liquid crystal display)显示面板行业的具有平整度高、刚度强、可高精度加工和可实现主动式驱动(AM驱动模式)特性的玻璃基板受到越来越多的关注。考虑到固晶良率及AM驱动一致性问题,一般采用小尺寸玻璃基板,然后拼接制作成大尺寸LED显示屏。要实现拼接,需要在玻璃基板上形成相互电连接的双面电路。现有技术提供了两种解决方法:一种方法是在玻璃基板上形成通孔,以实现基板的双面电互连,但该方法存在通孔数量巨大、加工时间长和通孔处容易断裂的问题;另一种方法是通过柔性线路实现基板的双面电互连,但柔性电路板的扰度有限,使得拼接缝较大。

发明内容

本发明提供了一种玻璃基板的制作方法,可以实现玻璃基板的双面电互连,且避免产生上述技术问题。

为达此目的,本发明采用以下技术方案:

一种玻璃基板的制作方法,包括:

通过原子层沉积方法,在玻璃基板的侧边及其近邻区域沉积出导电基层;

在所述导电基层上形成导电加厚层,得到包括所述导电基层和所述导电加厚层的侧边及其近邻线路,所述侧边及其近邻线路用于实现所述玻璃基板的双面电互连。

可选地,所述通过原子层沉积方法,在玻璃基板的侧边及其近邻区域沉积出导电基层之前,还包括:

遮挡非沉积区域,以露出玻璃基板的至少一个侧边及其近邻区域。

可选地,所述遮挡非沉积区域,包括:

使用工装夹具或者遮挡材料遮挡非沉积区域,所述遮挡材料为光刻胶或光固化树脂。

可选地,所述导电基层和所述导电加厚层的材料相同或者不同。

可选地,所述导电基层为金属、ZnO:Al、ZNO:B或ITO膜层。

可选地,所述导电基层的厚度为10~30nm,所述导电加厚层的厚度为1~3μm。

可选地,所述在所述导电基层上形成导电加厚层,包括:

通过电镀方法在所述导电基层上形成导电加厚层。

可选地,所述通过原子层沉积方法,在玻璃基板的侧边及其近邻区域沉积出导电基层之前,还包括:

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