[发明专利]一种光纤探针及其组装方法

权利要求书

1.一种光纤探针，其特征在于，包括锥形光纤探针(2)和一维纳米材料，一维纳米材料的一端通过金属层与锥形光纤探针(2)的尖端连接，锥形光纤探针(2)和一维纳米材料同轴；

所述一维纳米材料采用纳米线或纳米管，长径比≥10：1。

2.根据权利要求1所述的一种光纤探针，其特征在于，锥形光纤探针(2)表面镀有金属膜层，金属膜层材料为金、银或铝，厚度为10nm～150nm。

3.根据权利要求1所述的一种光纤探针，其特征在于，锥形光纤探针(2)形状为锥体，锥体角为10°～80°，锥体针尖直径为5nm～200nm。

4.根据权利要求1所述的一种光纤探针，其特征在于，所述一维纳米材料直径为5nm～200nm，长度为50nm～2μm，尖端直径不大于10nm。

5.根据权利要求1所述的一种光纤探针，其特征在于，所述金属层材料为金、银或铝。

6.一种光纤探针的组装方法，其特征在于，包括如下过程：

将锥形光纤探针(2)的尖端和一维纳米材料的一端接触，锥形光纤探针(2)和一维纳米材料同轴，所述一维纳米材料采用纳米线或纳米管；

在锥形光纤探针(2)和一维纳米材料的接触部位，利用电子束沉积的方法诱导沉积一层金属，沉积的金属层将一维纳米材料固定在锥形光纤探针(2)的尖端位置；

对一维纳米材料利用微纳加工方法进行修饰加工，使一维纳米材料的长径比不小于10:1，得到所述光纤探针。

7.根据权利要求6所述的一种光纤探针的组装方法，其特征在于，将锥形光纤探针(2)的尖端和一维纳米材料的一端接触的过程包括：

将锥形光纤探针(2)固定在纳米操作机械手上；

将一维纳米材料放置于载玻片上，所述载玻片利用导电胶固定在金属载物台上；

将纳米操作机械手和金属载物台放置于扫描电子显微镜真空腔室内，在电子显微镜观察下控制纳米操作机械手，使锥形光纤探针(2)接近并吸附载玻片上的一维纳米材料的一端，实现锥形光纤探针(2)的尖端和一维纳米材料的一端接触。

8.根据权利要求6所述的一种光纤探针的组装方法，其特征在于，对一维纳米材料利用微纳加工方法进行修饰加工时，将一维纳米材料的尖端直径加工为不大于10nm，得到最终的光纤探针，其中所述微纳加工方法包括聚焦离子束加工方法或激光加工方法。

9.根据权利要求6所述的一种光纤探针的组装方法，其特征在于，电子束沉积金属材料包括金、银或铝。

10.根据权利要求6所述的一种光纤探针的组装方法，其特征在于，所述锥形光纤探针(2)为表面镀有金属膜层的锥形光纤探针；所述金属膜层材料为金、银或铝，厚度为10nm～150nm。