[发明专利]一种薄膜电感材料及其制备方法和一种双面薄膜电感器有效
| 申请号： | 202110627797.8 | 申请日： | 2021-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN113363042B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 高涛;彭美华 | 申请（专利权）人： | 合泰盟方电子（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01F1/147 | 分类号： | H01F1/147;H01F41/02;H01F27/255;H01F27/34;C22C38/10;C22C38/16;C22C38/14;C22C38/12;C22C30/02;C21D1/26 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 魏坤宇 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电感 材料 及其 制备 方法 双面 电感器 | ||
1.一种薄膜电感材料，其特征在于，由包括如下按照重量百分比计的原料组成：
Fe 45～51%
Co 40～44%
Cu 2.1～2.5%
In 0.35～0.45%
Sm 0.55～0.85%
B 5.0～6.0%
Zr 0.25～0.35%
Nb 0.75～0.85%；
所述In、Sm 和 Cu 结合形成 SmCu2In相，SmCu2In相在晶界处均匀包覆α-FeCo相。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述Cu的重量百分比为2.35～2.45%，余量以Fe补足。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述In的重量百分比为0.39～0.41%，余量以Fe补足。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述Sm的重量百分比为0.6～0.7%，余量以Fe补足。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述B的重量百分比为5.6～5.8%，余量以Fe补足。
6.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述Zr的重量百分比为0.31～0.33%，余量以Fe补足。
7.根据权利要求1所述的一种薄膜电感材料，其特征在于：所述Nb的重量百分比为0.8～0.82%，余量以Fe补足。
8.权利要求1-7任意一项所述的一种薄膜电感材料的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：按配方称取原料进行预处理后真空熔炼得到合金，合金经过退火、冷却得到薄膜电感材料。
9.根据权利要求8所述的一种薄膜电感材料的制备方法，其特征在于：所述退火的操作为将合金升温至500～600℃，并保温20～30min。
10.一种双面薄膜电感器，包括绝缘衬底(1)、位于绝缘衬底(1)两侧的磁性层(3)，其特征在于：所述磁性层(3)由权利要求1-7任意一项所述的薄膜电感材料制成。
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