[发明专利]一种用于芯片失效分析的图像采集方法及系统

权利要求书

1.一种用于芯片失效分析的图像采集方法，其特征在于，该方法包括：通过上位机上运行的应用程序控制金相显微镜机台或扫描电镜机台载物台上的芯片按照预设的参数移动，并在其移动过程控制金相显微镜机台或扫描电镜机台的相机对该芯片的不同部位进行持续拍摄、自动保存拍摄所得的图像；所述应用程序通过调用金相显微镜机台或扫描电镜机台提供的通信接口与该金相显微镜机台或扫描电镜机台建立连接后，在以所述载物台的某个位置点作为原点建立的平面直角坐标系中，根据用户设置的图像采集时芯片的起始点位置坐标和终点位置坐标、以及每张照片能够拍摄到x轴的尺寸、y轴方向的尺寸来确定需要拍摄照片的数量；调用控制所述载物台的编程接口根据用户设置的移动步进量、移动路径控制芯片在所述载物台上进行移动，并结合控制所述相机的编程接口在所述移动过程中基于用户设置的拍照倍率对该芯片进行拍摄并保存所述数量的照片，在进行图像采集之前，将所述金相显微镜机台或扫描电镜机台的显示倍率设置成与所述拍照倍率相同；

所述移动步进量为该平面直角坐标系下包括x轴方向上的移动步进量S_x、y轴方向上的移动步进量S_y的二维矢量；所述移动路径包括逐行移动以及逐列移动；

采用以下公式计算得到需要拍摄照片的张数：

其中、[]为取整运算符，N_y为y轴方向上需要拍摄的照片的数量、y_E为所述终点位置的y轴坐标值、y_s为所述起始点位置的y轴坐标值、Y为每张照片能够拍摄到y轴的尺寸，N_X为x轴方向上需要拍摄的照片的数量、x_E为所述终点位置的x轴坐标值、x_s为所述起始点位置的x轴坐标值、X为每张照片能够拍摄到x轴的尺寸；

所述根据用户设置的移动步进量、移动路径控制芯片在所述载物台上进行移动，并在所述移动过程中基于用户设置的拍照倍率对该芯片进行拍摄并保存所述数量的照片，包括：

A.将芯片置于所述起始点位置处，采用以下公式计算出每次拍摄时芯片在x方向上的移动步数Num_x和y轴方向上的移动步数Num_y：

B.控制芯片按照所述移动步进量、移动路径在所述载物台上进行移动；

分别对所述芯片在x轴、y轴方向上的移动步数进行计数，当x轴对应的移动步数达到所述移动步数Num_x时，对应的计数器清零、暂停所述芯片的移动，同时控制所述相机对其进行一次拍摄、保存拍摄得到的照片；当Y轴对应的移动步数达到所述移动步数Num_y时，对应的计数器清零、暂停所述芯片的移动，同时控制所述相机对其进行一次拍摄、保存拍摄得到的照片；

C.判断所述芯片是否移动到所述终点位置/所述已保存照片张数是否为所述需要拍摄照片的张数；若是、则继续执行步骤B，否则、关闭所述应用程序，结束整个图像采集过程。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：由用户选择自动或手动触发开始整个图像采集过程；在每次对所述芯片拍摄前，对所述相机进行自动聚焦使其获得的所述的芯片图像达到预设的清晰度。