[发明专利]基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构及其制作方法在审
申请号: | 202110628766.4 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN113488490A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 李潮;杨斌;贺姝敏;成海涛;崔成强;林挺宇 | 申请(专利权)人: | 季华实验室 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L21/78 |
代理公司: | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人: | 陈志超 |
地址: | 528200 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 穿塑通孔 cis 板级扇出型 封装 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,用于制作CIS封装体,其特征在于,包括以下步骤:
S1、提供覆铜板(1),并对覆铜板(1)表面进行刻蚀和粗化处理,在覆铜板(1)两侧表面设置介质薄膜层(2);
S2、根据图形需求,在所述覆铜板(1)上制作穿塑通孔(3),并在穿塑通孔(3)中填充导电材料以及在两介质薄膜层(2)外表面上制作重布线层(4)使两个重布线层(4)连接;
S3、在一介质薄膜层(2)顶面设置围坝(5),以及在该介质薄膜层(2)上的重布线层(4)上固定芯片(6),并使所述围坝(5)高度高于芯片(6)高度;
S4、对另一介质薄膜层(2)上的重布线层(4)进行植球回流处理;
S5、将围坝(5)对正插入光学系统构件(7)上的沟槽(8),并通过涂胶将光学系统构件(7)固定。
2.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,围坝(5)高度为芯片(6)高度的1.5-2.5倍。
3.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔(3)的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,步骤S1包括以下子步骤:
S11、清洗覆铜板(1);
S12、对覆铜板(1)覆铜一侧进行化学腐蚀处理,获取线路结构;
S13、对覆铜板(1)另一侧进行等离子刻蚀或机械粗化处理。
4.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)设于覆铜板(1)进行粗化处理一侧的介质薄膜层(2)上。
5.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔(3)的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,在步骤S3中,所述芯片(6)通过锡膏、纳米银浆以及自对准进行贴片固定在重布线层(4)上。
6.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,在步骤S5中,将围坝(5)对正插入光学系统构件(7)上的沟槽(8)前,对沟槽(8)内侧和围坝(5)表面进行涂胶处理。
7.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)设置于所述介质薄膜层(2)的重布线层(4)线路未覆盖的区域上。
8.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述芯片(6)外侧对应有至少两个围坝(5)。
9.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)为柱状体或板状体或锥状体。
10.一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构,其特征在于,包括:
覆铜板(1),其上设有若干穿塑通孔(3);
介质薄膜层(2),覆盖于覆铜板(1)上下表面;
重布线层(4),设于介质薄膜层(2)外表面;
导电柱(9),填充于所述覆铜板(1)的穿塑通孔(3)中,用于连接覆铜板(1)上线路和重布线层(4)上线路;
芯片(6),固定在背离于所述覆铜板(1)覆铜侧的所述重布线层(4)上;
围坝(5),固定在所述介质薄膜层(2)上,并位于所述芯片(6)外侧,且其高度高于所述芯片(6)高度;
光学系统构件(7),设于所述芯片(6)上方,且其底部具有与围坝(5)配合且固定连接的沟槽(8);
焊球(10),设于远离输送芯片(6)的重布线层(4)上,用于封装结构的接线使用。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的