[发明专利]基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202110628766.4 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN113488490A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 李潮;杨斌;贺姝敏;成海涛;崔成强;林挺宇 申请(专利权)人: 季华实验室
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L21/78
代理公司: 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 代理人: 陈志超
地址: 528200 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 基于 穿塑通孔 cis 板级扇出型 封装 结构 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,用于制作CIS封装体,其特征在于,包括以下步骤:

S1、提供覆铜板(1),并对覆铜板(1)表面进行刻蚀和粗化处理,在覆铜板(1)两侧表面设置介质薄膜层(2);

S2、根据图形需求,在所述覆铜板(1)上制作穿塑通孔(3),并在穿塑通孔(3)中填充导电材料以及在两介质薄膜层(2)外表面上制作重布线层(4)使两个重布线层(4)连接;

S3、在一介质薄膜层(2)顶面设置围坝(5),以及在该介质薄膜层(2)上的重布线层(4)上固定芯片(6),并使所述围坝(5)高度高于芯片(6)高度;

S4、对另一介质薄膜层(2)上的重布线层(4)进行植球回流处理;

S5、将围坝(5)对正插入光学系统构件(7)上的沟槽(8),并通过涂胶将光学系统构件(7)固定。

2.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,围坝(5)高度为芯片(6)高度的1.5-2.5倍。

3.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔(3)的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,步骤S1包括以下子步骤:

S11、清洗覆铜板(1);

S12、对覆铜板(1)覆铜一侧进行化学腐蚀处理,获取线路结构;

S13、对覆铜板(1)另一侧进行等离子刻蚀或机械粗化处理。

4.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)设于覆铜板(1)进行粗化处理一侧的介质薄膜层(2)上。

5.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔(3)的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,在步骤S3中,所述芯片(6)通过锡膏、纳米银浆以及自对准进行贴片固定在重布线层(4)上。

6.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,在步骤S5中,将围坝(5)对正插入光学系统构件(7)上的沟槽(8)前,对沟槽(8)内侧和围坝(5)表面进行涂胶处理。

7.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)设置于所述介质薄膜层(2)的重布线层(4)线路未覆盖的区域上。

8.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述芯片(6)外侧对应有至少两个围坝(5)。

9.根据权利要求1所述的一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构的制作方法,其特征在于,所述围坝(5)为柱状体或板状体或锥状体。

10.一种基于穿塑通孔的CIS板级扇出型封装结构,其特征在于,包括:

覆铜板(1),其上设有若干穿塑通孔(3);

介质薄膜层(2),覆盖于覆铜板(1)上下表面;

重布线层(4),设于介质薄膜层(2)外表面;

导电柱(9),填充于所述覆铜板(1)的穿塑通孔(3)中,用于连接覆铜板(1)上线路和重布线层(4)上线路;

芯片(6),固定在背离于所述覆铜板(1)覆铜侧的所述重布线层(4)上;

围坝(5),固定在所述介质薄膜层(2)上,并位于所述芯片(6)外侧,且其高度高于所述芯片(6)高度;

光学系统构件(7),设于所述芯片(6)上方,且其底部具有与围坝(5)配合且固定连接的沟槽(8);

焊球(10),设于远离输送芯片(6)的重布线层(4)上,用于封装结构的接线使用。

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