[发明专利]辅助测量电路、测量电路及半导体器件电信号测量方法

权利要求书

1.一种辅助测量电路，其特征在于，包括：

待测电信号的输入端；

第一电信号通道，连接至测量单元；

超量程测量模块，连接于所述待测电信号的输入端与所述第一电信号通道之间，并包括：

校准系数确定单元，包括输入校准电信号的第二电信号通道和第一开关；以及

超量程单元，连接至所述第一电信号通道，其中，所述第一开关被配置为将所述超量程单元选择性地连接至所述待测电信号的输入端或所述第二电信号通道，以通过所述超量程单元减小所述待测电信号或所述校准电信号；

第二开关，设置于所述待测电信号输入端与所述第一电信号通道之间，并用于选择性地实现所述待测电信号输入端和所述第一电信号通道的直接电连接；以及

保护单元，用于在所述第一开关将所述超量程单元连接至所述第二电信号通道时，控制所述第二开关断开。

2.根据权利要求1所述的辅助测量电路，其特征在于，

所述超量程单元包括第一电阻和第二电阻，所述第一电阻设置于所述第一开关与所述第一电信号通道之间，所述第二电阻设置于所述第一电信号通道与地电平之间。

3.根据权利要求1所述的辅助测量电路，其特征在于，

所述超量程单元包括第一电阻和第二电阻，所述第一电阻设置于所述第一开关与地电平之间，所述第二电阻设置于所述第一开关与所述第一电信号通道之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的辅助测量电路，其特征在于，当通过所述第一开关将所述超量程单元连接至所述待测电信号的输入端时，所述辅助测量电路用于将所述待测电信号减小至所述测量单元的量程范围内。

5.根据权利要求 1至3中任一项所述的辅助测量电路，其特征在于，当通过所述第一开关将所述超量程单元连接至所述第二电信号通道时，所述辅助测量电路用于将所述校准电信号减小至所述测量单元的量程范围内。

6.根据权利要求1所述的辅助测量电路，其特征在于，所述保护单元包括或门电路，所述或门电路受第一控制信号和第二控制信号的控制，所述第一控制信号还用于控制所述第一开关，

其中，所述第一控制信号为高电平，所述第一开关将所述超量程单元连接至所述第二电信号通道，所述或门电路输出控制所述第二开关断开的高电平。

7.根据权利要求1所述的辅助测量电路，其特征在于，所述保护单元包括与门电路，所述与门电路受第一控制信号和第二控制信号的控制，所述第一控制信号还用于控制所述第一开关，

其中，所述第一控制信号为低电平，所述第一开关将所述超量程单元连接至所述第二电信号通道，所述与门电路输出控制所述第二开关断开的低电平。

8.根据权利要求2或3所述的辅助测量电路，其特征在于，所述第一电阻的电阻值和第二电阻的电阻值被设置为使得减小后的所述待测电信号处于所述测量单元的量程范围内。

9.根据权利要求2所述的辅助测量电路，其特征在于，所述第一电阻和所述第二电阻的取值范围介于900欧姆至1500欧姆之间。

10.根据权利要求3所述的辅助测量电路，其特征在于，所述第一电阻和所述第二电阻的取值范围介于200欧姆至300欧姆之间。