[发明专利]激光振荡器

权利要求书

1.一种激光振荡器，其特征在于，具有：

放电电极，在容纳激光介质气体的腔室内产生放电；

谐振腔底座，配置于所述腔室内且保持具有通过所述放电电极产生放电的区域的光轴的光学谐振腔；及

温度差减少结构，减少所述谐振腔底座的表面中的面朝所述放电电极的方向的第1表面和面朝与所述放电电极相反一侧的方向的第2表面之间的温度差。

2.根据权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，

所述温度差减少结构包括配置于所述谐振腔底座与所述放电电极之间且进行绝热或隔热的热屏蔽部件。

3.根据权利要求2所述的激光振荡器，其特征在于，

所述热屏蔽部件以能够沿所述光学谐振腔的光轴方向伸缩的方式支承于所述谐振腔底座上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器，其特征在于，

所述温度差减少结构包括冷却流路，所述冷却流路设置于所述第1表面上，或者设置于所述谐振腔底座内部的相比所述第2表面更靠近所述第1表面的位置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光振荡器，其特征在于，

所述温度差减少结构包括气体循环机构，所述气体循环机构使激光介质气体在与所述第1表面接触的空间和与所述第2表面接触的空间之间循环。