[发明专利]一种基于光电离的低动能脉冲离子源

权利要求书

1.一种基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，包括：离子加速透镜组、偏转电极组、第一聚焦电极组、第二聚焦电极组和离子减速组件；

所述离子加速透镜组，用于产生并加速离子，并对所述离子束进行初步聚焦；

所述偏转电极组，用于对经过初步聚焦的离子束进行空间位置和速度方向的修正；

所述第一聚焦电极组，用于对经过修正的离子束进行二次聚焦；

所述第二聚焦电极组，用于对离子束进行第三次聚焦，以使所述离子束焦点落在反应区中心；

所述离子减速组件，用于将经过第三次聚焦的离子束减速，并配合所述第一聚焦电极组和第二聚焦电极组优化所述离子束的聚焦状态。

2.如权利要求1所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述离子加速透镜组分为第一组离子透镜和第二组离子透镜，所述第一离子透镜组和第二离子透镜组均包括若干相互平行排列的极板，所述第一离子透镜组用于对经过准直的分子束进行电离，以产生并加速离子；所述第二离子透镜组用于对所述离子束进行初步聚焦。

3.如权利要求2所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述第一组离子透镜中最先接触分子束的极板施加的脉冲电压大于其他极板上施加的脉冲电压。

4.如权利要求3所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述第一组离子透镜中的极板均贴有金属栅网。

5.如权利要求1所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述偏转电极组由两组上下偏转电极组和两组左右偏转电极组构成，方向相同的电极组施加的电压相同。

6.如权利要求1所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述第一聚焦电极组包括至少三个电极管，第一电极管和第三电极管从第二电极管的两端插入所述第二电极管，第一电极管和第三电极管保持接地状态以屏蔽外界杂散电场的干扰，通过对第二电极管施加电压对离子束进行二次聚焦。

7.如权利要求1所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述包括至少三个聚焦电极，各所述聚焦电极呈筒状，第二聚焦电极的两端分别插入第一聚焦电极和第三聚焦电极中，第一聚焦电极的主筒体上设有作为第二聚焦电极组的离子入口的管体，第三聚焦电极的主筒体上设有作为第二聚焦电极组的离子出口的管体。

8.如权利要求1所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述离子减速组件包括减速电极、屏蔽套筒和离子成像电极组的前若干片极板，离子成像电极组的前若干片极板设置在屏蔽套筒中，用于调节减速后离子的动能。

9.如权利要求8所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述屏蔽套筒均匀分布供离子束和分子束通过的圆孔。

10.如权利要求2、3、4或8所述的基于光电离的低动能脉冲离子源，其特征在于，所述极板的中心均设有小孔，所述小孔的孔径为8-12mm。