[发明专利]多功能高分辨透射光栅X射线谱仪

权利要求书

1.一种多功能高分辨透射光栅X射线谱仪，包括由室壁和两端装有前法兰(7-1)和后法兰(7-2)所构成的真空室(7)，在所述的真空室(7)内底上置有面包板(7-3)，在所述的面包板(7-3)上由所述的前法兰(7-1)至所述的后法兰(7-2)依次设置前光阑组件(2)、滤膜组件(3)、X射线晶体准直管组件(4)、多功能透射光栅组件(5)和后光阑组件(6)，在所述的后法兰(7-2)之后设置CCD(8)，其特征在于，

所述的前光阑组件(2)由底座(2-1)与前光阑(2-2)构成，所述的底座(2-1)设置在所述的面包板(7-3)上，所述的前光阑(2-2)的光阑平面与光轴垂直；

所述的滤膜组件(3)由底座(3-1)、3个薄膜孔(3-2)、连接孔(3-3)和带电机的滤膜控制系统(3-4)构成，所述的底座(3-1)上有3个薄膜孔(3-2)，3个薄膜孔(3-2)的滤膜厚度依次为0，50μm，100μm，所述的底座(3-1)通过所述的连接孔(3-3)与所述的带电机的滤膜控制系统(3-4)相连，由滤膜控制系统(3-4)的电机控制所述的底座(3-1)垂直于光轴的左右方向运动，所述的薄膜孔(3-2)的平面与光轴垂直；

所述的X射线晶体准直管组件(4)由X射线晶体准直管(4-1)、夹持底座(4-2)和带电机的准直管控制系统(4-3)组成，所述的夹持底座(4-2)与所述的带电机的准直管控制系统(4-3)连接，由所述的准直管控制系统(4-3)的电机控制其垂直光轴方向左右运动，所述的X射线晶体准直管(4-1)的输出端的截面与光轴垂直；

所述的多功能透射光栅组件(5)由底座(5-1)、样品台1(5-2)、透射光栅组(5-3)、样品台2(5-4)和带电机的多维控制系统(5-5)构成，所述的底座(5-1)与所述的带电机的多维控制系统(5-5)连接，由多维控制系统(5-5)的电机控制所述的底座(5-1)垂直于光轴的上下或左右运动，光栅或样品台的平面与光轴垂直；

所述的后光阑组件(6)由底座(6-1)与后光阑(6-2)组成，所述的底座(6-1)固定在所述的真空室(7)内面包板(7-3)上，所述的后光阑(6-2)的平面与光轴垂直；

所述的前光阑(2-2)平面的中心、所述的薄膜孔(3-2)的中心、所述的X射线晶体准直管(4-1)的输出端的截面的中心、所述的透射光栅组(5)的中心和所述的后光阑(6-2)的中心均等高且共光轴；

在所述的真空腔体的侧面共设3个电机控制按钮，分别与所述的滤膜控制系统(3-4)、准直管控制系统(4-3)和多功能透射光栅的多维控制系统(5-5)相连；在所述的真空腔体的上方设有2个观察窗，通过电机控制按钮的调整，在所述的前法兰(7-1)之前的X射线源发射的X射线(1)可依次通过所述的前法兰(7-1)、所述的前光阑(2-2)平面的中心、薄膜孔(3-2)的中心、所述的X射线晶体准直管(4-1)的输出端的截面的中心、所述的透射光栅组(5-3)的中心、所述的后光阑(6-2)平面的中心、后法兰(7-2)射向所述的CCD(8)。

2.根据权利要求1所述的多功能高分辨透射光栅X射线谱仪，其特征在于所述前光阑组件参数为光阑(2-2)外直径30mm，工作直径1mm，。

3.根据权利要求1所述的多功能高分析透射光栅X射线谱仪，其特征在于所述滤膜组件(3)的底座(3-1)的大小为80mm×40mm×2mm，底座(3-1)上有3个薄膜孔(3-2)，每个薄膜孔(3-2)的直径为20mm，3个滤膜的厚度依次为0，50μm，100μm。

4.根据权利要求1所述的多功能高分析透射光栅X射线谱仪，其特征在于所述的X射线晶体准直管(4-1)输入端直径为20mm，输出端直径为0.5mm，准直管长度为50mm。