[发明专利]一种Ir涂层表面过渡层的制备方法有效
申请号: | 202110634104.8 | 申请日: | 2021-06-08 |
公开(公告)号: | CN113249679B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 朱利安;白书欣;叶益聪;王震;李发源;张楷力;万红;李顺;唐宇;刘希月 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | C23C10/36 | 分类号: | C23C10/36;C23C10/60 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ir 涂层 表面 过渡 制备 方法 | ||
1.一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、将金属X粉末、与金属X对应的金属氧化物XO粉末及助渗剂混合均匀,得到所需渗剂;所述金属X为Hf或Zr,与金属X对应的金属氧化物XO粉末分别为HfO2和ZrO2;
步骤二、将预处理后的Ir涂层样品放入坩埚中,采用步骤一制备的渗剂将样品包埋,将坩埚置于真空炉中加热至1300℃,保温2.5h,在样品表面制备出金属间化合物层;
步骤三、将步骤二制得的表面有金属间化合物层的Ir涂层样品在5-20kPa的气压及1500-1800℃的温度下进行预氧化处理5-60min,得到成分和相含量均准梯度分布的过渡层。
2.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,步骤一中制备的渗剂,按摩尔百分比计,包括:金属X粉末为20%-50%,与金属X对应的金属氧化物XO粉末为40%-70%,助渗剂为5%-20%。
3.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,步骤一中混合处理的条件具体为:使用罐磨机进行混粉处理,罐磨机的转速为100-200rpm,处理时间为4-8h。
4.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,所述助渗剂为NH4Cl。
5.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,Ir涂层样品预处理过程为:将Ir涂层样品进行清洗和烘干处理。
6.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,步骤二中,所述坩埚为石墨坩埚;所述真空炉为WZDS-20石墨真空炉。
7.根据权利要求1所述的一种Ir涂层表面过渡层的制备方法,其特征在于,步骤三中,预氧化处理过程中使用的气氛为空气。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10-00 金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
C23C10-02 .被覆材料的预处理
C23C10-04 .局部表面上的扩散处理,例如使用掩蔽物
C23C10-06 .使用气体的
C23C10-18 .使用液体,例如盐浴、悬浮液的
C23C10-28 .使用固体,例如粉末、膏剂的